真空的获得和测量 (2).ppt

由热阴极发射出的电子将在飞向阳极的过程中碰撞气体分子，并使后者发生电离。由离子收集极接收电离的离子，并根据离子电流强度的大小就可以测量出环境的真空度。由于离子电流强度的大小将取决于阴极发射的电子电流强度、气体分子的碰撞截面以及气体分子的密度等三个因素，因而在固定阴极发射电流和固定气体种类的情况下，离子电流强度将直接取决于电离气体的压力。电离真空规第32页,共37页，星期六，2024年，5月电离真空规可检测的压力下限受阴极发射的高能光子在离子收集极上产生的光电效应所限制。这种效应产生的光电流相当于10-7Pa的真空度下的离子电流。第33页,共37页，星期六，2024年，5月薄膜式真空规是一种依靠金属薄膜在气体压力差作用下产生机械位移，从而可用于气体绝对压力测量，测量结果与气体种类无关的真空规。薄膜真空规有两个被隔离的真空腔。当一个真空腔内的压力为已知，另一个真空腔的压力为未知的情况下，薄膜的位移量将与两个腔内的压力差成正比。为提高测量的准确度，薄膜位移是靠测量薄膜与另一个金属电极间的电容的变化来实现的。薄膜式真空规第34页,共37页，星期六，2024年，5月在很大的量程范围内，薄膜真空规都具有很好的线性度，其探测下限约为10-3Pa，这相当于探测到的薄膜位移只有一个原子尺度大小。第35页,共37页，星期六，2024年，5月第36页,共37页，星期六，2024年，5月感谢大家观看第37页,共37页，星期六，2024年，5月关于真空的获得和测量(2)何谓真空环境？为什么需要获得真空环境？如何划分真空的级别？如何获得真空？如何测量真空度？目录第2页,共37页，星期六，2024年，5月何谓真空环境？本指没有任何实物粒子存在的空间，但什么都没有的空间是不存在的。而假设你把一个空间的气体都赶跑，会发现还是不时有基本粒子在真空中出现又消失，无中生有。物理上的真空实际上是一片不停波动的能量之海。当能量达到波峰，能量转化为一对对正反基本粒子，当能量达到波谷，一对对正反基本粒子又相互湮灭，转化为能量。工业上的真空指的是气压比一标准大气压小的气体空间，是指稀薄的气体状态，第3页,共37页，星期六，2024年，5月为什么需要获得真空环境？生活中（食品的保存----防腐）（保温瓶---隔热）科研领域（样品制备；性能测试------防氧化）第4页,共37页，星期六，2024年，5月真空环境可粗略地分为：低真空102Pa中真空102~10-1Pa高真空10-1~10-5Pa超高真空10-5Pa如何划分真空的级别？第5页,共37页，星期六，2024年，5月如何获得真空？人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵目前在真空技术中，采用各种不同的方法，已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa，宽达18个数量级的压力范围第6页,共37页，星期六，2024年，5月在真空获得技术中，目前用以获得真空的技术方法有两种通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多，分类方法各异，但是，最常用的方法还是按泵的工作原理或其结构特点加以分类第7页,共37页，星期六，2024年，5月气体传输泵：气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵气体捕集泵：这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵真空泵的分类第8页,共37页，星期六，2024年，5月变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。气体在排出前被压缩动量传输泵这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口气体传输泵的分类第9页,共37页，星期六，2024年，5月气体捕集泵的分类：吸气剂离子泵：它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通