《高纯钛溅射环》.docx

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YS/TXXXX—XXXX

高纯钛溅射环

1范围

本文件规定了高纯钛溅射环的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于电子薄膜制造用的高纯钛溅射环（以下简称“钛环”）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅注日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T1031产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T4698.7海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氧量、氮量的测定GB/T4698.14海绵钛、钛及钛合金化学分析方法碳量的测定

GB/T4698.15海绵钛、钛及钛合金化学分析方法氢量的测定

GB/T6394金属平均晶粒度测定方法

YS/T891高纯钛化学分析方法痕量元素含量的测定辉光放电质谱法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。3.1

溅射环sputteringcoil

溅射沉积设备中的环形装置。

注：该装置在靶材溅射过程中修正参与溅射的分子、原子或离子的运动轨迹，并吸附大颗粒。3.2

凸台knob/pin

环外侧用来安装固定环体的部分。

注：环与凸台可以通过焊接（如电子束焊等）、机械复合等方式连接。

4分类

4.1产品分类

4.1.1钛环按照化学成分分为2个牌号：4N5-Ti与5N-Ti。

4.1.2钛环通常分为一体型与拼接型两种（分别用A和S表示），如图1所示，或由需方提供图纸。

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环体

凸台

环体

凸台

a）A型环b）S型环

图1高纯钛溅射环结构示意图

5技术要求

5.1化学成分

钛环的化学成分应符合表1的规定。需方如对钛环的化学成分有特殊要求时，可由供需双方协商确定并在订货单中注明。

表1化学成分

牌号

4N5-Ti

5N-Ti

Ti含量，不小于%

99.995

99.999

杂质含量/10%，不大于

Ag

0.2

0.2

Al

5.0

2.0

B

0.1

0.1

Ca

2.0

1.0

Co

1.0

0.1

Cr

5.0

1.0

Cu

2.0

1.0

Fe

15.0

7.0

K

0.1

0.1

Li

0.1

0.1

Mg

1.0

0.1

Mn

1.0

0.3

Mo

4.0

0.5

Na

0.2

0.1

Ni

5.0

0.5

Pb

2.0

0.1

Si

5.0

2.0

Sn

2.0

1.0

Th

0.001

0.001

U

0.001

0.001

V

1.0

1.0

W

1.0

0.5

Zn

1.0

0.5

Zr

5.0

1.0

气体杂质元素含量/10%，不大于

C

50

40

H

10

10

N

50

50

O

300

250

S

10

10

Ti含量为100%减去表中所列“杂质总和”的余量（不含气体杂质元素）。

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5.2晶粒尺寸

钛环的晶粒尺寸应符合表2规定，需方如有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货单中注明。表2晶粒尺寸

单位为微米

平均值

最大值

≤750

≤1000

5.3表面粗糙度

钛环表面粗糙度Ra值应不大于0.8μm。需方有特殊要求时，由供需双方协商确定。

5.4外形尺寸

钛环外形尺寸一般,符合表3的规定。需方有特殊要求时，由供需双方协商确定。

表3外形尺寸

单位为毫米

外径

厚度

高度

284～289

3～5

50～52

391～392

6～7

76～77

5.5外观质量

钛环表面应清洁光滑，无指痕、油污、锈蚀、颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起

等缺陷。环与凸台一般通过电子束焊接，要求焊接处无气孔、孔洞、缝隙等缺陷。

6试验方法

6.1化学成分的分析方法

6.1.1金属杂质元素的测定按照YS/T891的规定进行，或由供需双方协商确定。

6.1.2化学元素C、N、O、H的分析按照GB/T4698.14、GB/T4698.7、GB/T4698.15的规定执行。元素S采用红外碳硫分析仪进行检验。

6.2晶粒尺寸检验

钛环的晶粒尺寸检验按照GB/T6394进行观察、评定和确认。

6.3表面粗糙度检验

钛环的表面粗糙度检测通过粗糙度测量仪，按照GB/T1031规定进行测量，或按照供需双方约定的方法测量。

6.4外形尺寸检验

钛环的外形尺寸采用三坐标测量仪、游标卡尺等进行检验，