《锇靶材》规范要求.docx

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YS/T××××—××××

锇靶材

1范围

本文件规定了锇靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于微波电真空领域阴极镀膜用锇靶材。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件，不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T1031

产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T1804

一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GB/T3850

致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法

GB/T6394

金属平均晶粒度测定方法

GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

GB/T23613锇粉化学分析方法.镁、铁、镍、铝、铜、银、金、铂、铱、钯、铑、硅量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4分类

4.1产品分类

锇靶材按成分分为MC-Os99.95、MC-Os99.99两个等级。

锇靶材按形状分为圆盘状、矩形等。圆盘状直径主要有50.8mm、76.2mm等，厚度为3mm~6mm。锇靶形状还可提供矩形等。经供需双方协商，可提供其他形状及规格的锇靶材。

5技术要求

5.1化学成分

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锇靶材的化学成分应符合表1的规定。锇含量（质量分数）为100%减去表1中所列杂质实测值的余量。需方对某种特定元素含量有要求的，由供需双方协商确认。

表1锇靶材的化学成分质量分数%

牌号

MC-Os99.95

MC-Os99.99

锇含量，不小于

99.95

99.99

杂质含量，

不大于

Mg

0.002

0.001

Al

0.010

0.005

Si

0.020

0.010

Fe

0.020

0.005

Cu

0.002

0.001

Ni

0.002

0.001

Au

0.001

0.0005

Ag

0.001

0.0005

Pt

0.001

0.0005

Rh

0.002

0.0005

Pd

0.002

0.0005

Ir

0.002

0.001

Na

0.001

0.0005

杂质总含量，不大于

0.05

0.01

5.2几何尺寸及公差

锇靶材的尺寸、规格与用户的设备型号相关，一般由需方提供图纸，供需双方协商确认。图纸中，未标注的公差按GB/T1804的中等m级执行。

5.3晶粒尺寸

锇靶材的平均晶粒尺寸应不大于30μm，且晶粒分布均匀。5.4致密度

锇靶材的致密度不低于95%（相对于理论密度22.59g/cm3的实测密度不应低于21.46g/cm3）。5.5表面粗糙度

锇靶材的表面粗糙度Ra值应不大于5.0μm。5.6外观质量

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锇靶材的表面应无凹坑、孔洞、裂纹、凸起、划伤等缺陷，应清洁光滑、无颗粒附着、无油污和锈蚀。

6试验方法

6.1锇靶材中Mg、Al、Si、Fe、Cu、Ni、Au、Ag、Pt、Rh、Pd、Ir元素含量的测定按照GB/T23613标准的规定进行，Na元素含量的测定由供需双方协商确定，或参考GB/T23275标准进行分析。

6.2锇靶材的几何尺寸按GB/T15077规定执行。需方有特殊要求时，可按技术协议或相应精度的量具进行检测。

6.3锇靶材的晶粒尺寸的检测按GB/T6394规定进行。6.4锇靶材的致密度的检测按GB/T3850规定进行。

6.5锇靶材的表面粗糙度由相应精度的表面粗糙度仪检测，按GB/T1031规定执行。

6.6锇靶材的外观质量用目视检查，如发现异常现象，应在10倍放大镜条件下检查确认。

7检验规则

7.1检查和验收

7.1.1锇靶材产品应由供方质量检验部门进行检验，保证产品质量符合本文件（或订货单）的规定，并

填写随行文件。

7.1.2需方可按本文件的规定对收到的产品进行检验，如检验结果与本文件及合同（或订货单）的规定

不符时，应在收到产品之日起30日内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方场所共同进行。

7.2组批

锇靶材产品应成批提交验收，每批应由同一牌号、同一规格的产品组成。

7.3检验项目及取样

7.3.1产品应进行化学成分、几何尺寸及公差、晶粒尺寸、致密度、表面粗糙度和外观质量的检验。检

验项目、取样位置和数量应符合表2的规定。根据用户要求提供随样。

表2取样要求

检验项