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洁净室（区）悬浮粒子的测试方法

一、采样点选择

在洁净室（区）中选择有代表性的区域作为采样点，这些区域应包括

工艺区、人员入口、物料入口等。根据洁净室（区）的大小和布局，

合理设置采样点的数量和位置，确保全面评估洁净室的洁净度。

二、采样仪器

使用符合标准要求的粒子计数器进行采样。粒子计数器应具备适当的

粒径范围，能够准确测量洁净室内不同粒径的悬浮粒子数量。确保粒

子计数器在有效期内，并定期进行校准和维护。

三、采样流量

采样时应控制流量，保持稳定的空气流速。通常选择1立方米/分钟

或2立方米/分钟的流速进行采样。根据实际需要调整流量，以确保

采样结果的准确性和可靠性。

四、采样时间

每个采样点的采样时间应不少于30分钟。根据洁净室（区）的要求

和实际情况，可以适当延长或缩短采样时间。确保采样时间足够长，

以获得可靠的平均值。

五、粒子计数

在设定的采样流量和时间内，粒子计数器会自动记录不同粒径范围内

的悬浮粒子数量。将记录的数据进行整理和分析，以评估洁净室的洁

净度水平。

六、结果计算

根据采样得到的数据，计算不同粒径范围的悬浮粒子浓度。可以采用

平均值、最大值或最小值等方式进行计算，具体方法根据实际需求而

定。将计算结果与洁净室（区）的洁净度标准进行对比，判断是否符

合要求。

七、误差分析

对测试结果进行误差分析，了解测试数据的可信度。误差可能来源于

仪器误差、采样点选择、采样流量和时间等因素。通过误差分析，可

以对测试结果进行修正，提高数据的准确性。

八、重复测试

为了获得更可靠的测试结果，可以对同一采样点进行多次重复测试。

取多次测试结果的平均值作为最终结果，以减小误差和偶然因素的影

响。在重复测试时，应注意保持相同的采样条件和方法。

九、结果报告

根据测试结果编写报告，详细记录每个采样点的位置、采样时间、粒

径范围、粒子浓度等信息。同时，对测试结果进行简要分析和解释，

提出改进建议或措施。将报告提交给相关部门或人员，以便他们了解

洁净室的洁净度状况并采取相应措施。

十、注意事项

在进行悬浮粒子测试时，应注意以下几点：

-确保测试前洁净室（区）已经充分净化，且没有明显污染源；

-避免在测试过程中进行可能产生大量污染的操作；

-在测试过程中，应保持仪器处于良好工作状态，及时处理任何异

常情况；

-对测试结果进行合理的解释和判断，避免误判或遗漏；

-遵守相关安全规定和操作规程，确保测试过程的安全性。