原创力文档- 1、本文档共4页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
n型薄膜晶体管(TFT)的研究进展
孙源爽1杨卿煜2李治玥2
（1.山东海化股份有限公司热力电力公司，山东，潍坊，262737；2.香港大学，物理系，香港，999077）
摘要：文章详细地介绍了以IGZO TFT为主要代表的显示材料以及n型TFT的工作原理、研究进展及
在其制备的过程中可能受到的限制和影响、在许多技术和领域方面的实际应用。IGZO TFT的原理和性能
特点相比于其他的新型半导体材料和薄膜晶体管具有很大的技术优势，这也就使得它在大尺寸柔性液晶
显示及大尺寸超高清液晶显示等电子信息领域的应用上具有巨大的潜在价值。
关键词：薄膜晶体管；n型；IGZO
中图分类号：TB34文献标识码：A
DOI：10.19881/j.cnki.1006-3676.2020.12.11
Research status of n-type thin film transistor (TFT)
122
SunYuanshuangYangQingyuLiZhiyue
（1.Shandong Haihua Co. Ltd.，Shandong，Weifang，262737；2.Department of Physics， the
University of Hong Kong， Hong Kong，999077）
Abstract：Thisarticleintroducessomeprinciplesandresearchprogressofn-type
TFTrepresentedbyIGZOTFT，theimpactontheminthepreparationprocess，andits
applicationinmanyfields.Comparedwithothersemiconductorandthecorrespondingthin
filmtransistors，theperformanceofIGZOTFThasgreatadvantages，theadvantagesmake
ithavegreatpotentialapplicationvalueinthetechnicalfieldsofflexibledisplayand
large-sizeultra-high-definitiondisplay.
Keywords：Thinfilmtransistor；n-type；IGZO
薄膜晶体管(TFT)集成元件是一种用于由有源发晶硅TFT的迁移率太小，低温多晶硅的迁移率很高，但
光矩阵液晶显示器(LCD)和有机无源发光矩阵二极管是亮度均匀性和灰度精度有些不合适，无法再满足市场
(AMOLED)组成的显示液晶面板的一个重要关键集成元需求。为了更好地追求具备高速和低功率特性的场效应
件，主要广泛用于设计和制造发光矩阵显示面板和驱动晶体管，各国的科学家和电子显示器件产业已经开始研
集成电路[1]。目前，传统的TFT和TFT集成元件包括非究和关注两种新型的半导体TFT：新型氧化物半导体TFT
晶硅和多晶硅薄膜晶体管。但是，随着电子商业的发展和新型有机半导体TFT显示器件。其中，氧化物半导体
和市场对高分辨率(4000×2000像素)，高帧频(240Hz)TFT器件包括氧化锌(ZnO)TFT，铟锌氧化物(IZO)TFT，
和大屏幕尺寸(70英寸)的需求的增加，传统TFT中非铟镓锌氧化物(IGZO)TFT等。IGZOTFT的性能尤为出色：
作者简介：孙源爽，女，1985年生，高级工程师，研究方向：信息控制与信息处理。李治玥（通
文档评论（0）