真题的PDMS柔性传感器高精度金属微电极制备工艺.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN113802119A

(43)申请公布日2021.12.17

(21)申请号CN202111014485.6

(22)申请日2021.08.31

(71)申请人煤炭科学研究总院

地址100013北京市朝阳区和平里青年沟东路5号

(72)发明人李中南王洪磊王海军

(74)专利代理机构11201北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人曲进华

(51)Int.CI

C23F1/02

C23F1/18

G03F7/16

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

通用的PDMS柔性传感器高精度金

属微电极制备工艺

(57)摘要

本申请提出一种通用的PDMS柔性

传感器高精度金属微电极制备工艺，将现

有的金属薄膜通过光刻的方式制备出微米

尺度电极阵列，经PDMS封装后可保持器

件较好的弹性和生物相容性的同时，保留

金属电极的高导电性和韧性。该工艺制备

的PDMS柔性器件可用于生物植入设备，

如神经刺激器、心脏起搏器、人工耳蜗

等。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

2022-01-04实质审查的生效实质审查的生效

2021-12-17公开公开

著录事项变更IPC(主分类):C23F

1/02专利申请号:2021110144856

变更事项:申请人变更前:煤炭科

学研究总院变更后:煤炭科学研究

2022-08-23总院有限公司变更事项:地址变更著录事项变更

前:100013北京市朝阳区和平里

青年沟东路5号变更后:100013

北京市朝阳区和平里青年沟东路

5号

2022-08-30授权发明专利权授予

权利要求说明书

【通用的PDMS柔性传感器高精度金属微电极制备工艺】的权利说明书内容是

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说明书

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