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压⼒传感器⼯作原理图解

随着⾃动化技术的进步，在⼯业设备中，除了液柱式压⼒计、弹性式压⼒表外，⽬前更多的是

采⽤可将压⼒转换成电信号的压⼒变送器和传感器。那么这些压⼒变送器和传感器是如何将压

⼒信号转换为电信号的呢？不同的转换⽅式⼜有什么特点呢？今天电⼯学习⽹⼩编为⼤家汇总

了⽬前常见的⼏种压的测量原理，希望能对⼤家有所帮助。

⼀、压电压⼒传感器

压电式压⼒传感器主要基于压电效应（Piezoelectriceffect），利⽤电⽓元件和其他机械把待测

的压⼒转换成为电量，再进⾏相关测量⼯作的测量精密仪器，⽐如很多压⼒变送器和压⼒传感

器。压电传感器不可以应⽤在静态的测量当中，原因是受到外⼒作⽤后的电荷，当回路有⽆限

⼤的输⼊抗阻的时候，才可以得以保存下来。但是实际上并不是这样的。因此压电传感器只可

以应⽤在动态的测量当中。它主要的压电材料是：磷酸⼆氢胺、酒⽯酸钾钠和⽯英。压电效应

就是在⽯英上发现的。

当应⼒发⽣变化的时候，电场的变化很⼩很⼩，其他的⼀些压电晶体就会替代⽯英。酒⽯酸钾

钠，它是具有很⼤的压电系数和压电灵敏度的，但是，它只可以使⽤在室内的湿度和温度都⽐

较低的地⽅。磷酸⼆氢胺是⼀种⼈造晶体，它可以在很⾼的湿度和很⾼的温度的环境中使⽤，

所以，它的应⽤是⾮常⼴泛的。随着技术的发展，压电效应也已经在多晶体上得到应⽤了。例

如：压电陶瓷，铌镁酸压电陶瓷、铌酸盐系压电陶瓷和钛酸钡压电陶瓷等等都包括在内。

以压电效应为⼯作原理的传感器，是机电转换式和⾃发电式传感器。它的敏感元件是⽤压电的

材料制作⽽成的，⽽当压电材料受到外⼒作⽤的时候，它的表⾯会形成电荷，电荷会通过电荷

放⼤器、测量电路的放⼤以及变换阻抗以后，就会被转换成为与所受到的外⼒成正⽐关系的电

量输出。它是⽤来测量⼒以及可以转换成为⼒的⾮电物理量，例如：

加速度和压⼒。它有很多优点：重量较轻、⼯作可靠、结构很简单、信噪⽐很⾼、灵敏度很⾼

以及信频宽等等。但是它也存在着某些缺点：有部分电压材料忌潮湿，因此需要采取⼀系列的

防潮措施，⽽输出电流的响应⼜⽐较差，那就要使⽤电荷放⼤器或者⾼输⼊阻抗电路来弥补这

个缺点，让仪器更好地⼯作。

⼆、压阻压⼒传感器

压阻压⼒传感器主要基于压阻效应（Piezoresistiveeffect）。压阻效应是⽤来描述材料在受到机

械式应⼒下所产⽣的电阻变化。不同于上述压电效应，压阻效应只产⽣阻抗变化，并不会产⽣

电荷。

⼤多数⾦属材料与半导体材料都被发现具有压阻效应。其中半导体材料中的压阻效应远⼤于⾦

属。由于硅是现今集成电路的主要，以硅制作⽽成的压阻性元件的应⽤就变得⾮常有意义。的

电阻变化不单是来⾃与应⼒有关的⼏何形变，⽽且也来⾃材料本⾝与应⼒相关的电阻，这使得

其程度因⼦⼤于⾦属数百倍之多。N型硅的电阻变化主要是由于其三个导带⾕对的位移所造成不

同迁移率的导带⾕间的载⼦重新分布，进⽽使得电⼦在不同流动⽅向上的迁移率发⽣改变。其

次是由于来⾃与导带⾕形状的改变相关的等效质量(effectivemass)的变化。在P型硅中，此现象

变得更复杂，⽽且也导致等效质量改变及电洞转换。

压阻压⼒传感器⼀般通过引线接⼊惠斯登电桥中。平时敏感芯体没有外加压⼒作⽤，电桥处于

平衡状态（称为零位），当传感器受压后芯⽚电阻发⽣变化，电桥将失去平衡。若给电桥加⼀

个恒定电流或电压电源，电桥将输出与压⼒对应的电压信号，这样传感器的电阻变化通过电桥

转换成压⼒信号输出。电桥检测出电阻值的变化，经过放⼤后，再经过电压电流的转换，变换

成相应的电流信号，该电流信号通过⾮线性校正环路的补偿，即产⽣了输⼊电压成线性对应关

系的4～20mA的标准输出信号。

为减⼩温度变化对芯体电阻值的影响，提⾼测量精度，压⼒传感器都采⽤温度补偿措施使其零

点漂移、灵敏度、线性度、稳定性等技术指标保持较⾼⽔平。

三、电容式压⼒传感器

电容式压⼒传感器是⼀种利⽤电容作为敏感元件，将被测压⼒转换成电容值改变的压⼒传感

器。这种压⼒传感器⼀般采⽤圆形⾦属薄膜或镀⾦属薄膜作为电容器的⼀个电极，当薄膜感受

压⼒⽽变形时，薄膜与固定电极之间形成的电容量发⽣变化，通过测量电路即可输出与电压成

⼀定关系的电信号。电容式压⼒传感器属于极距变化型电容式传感器，可分为单电容式压⼒传

感器和差动电容式压⼒传感器。

单电容式压⼒传感器由圆形薄膜与固定电极构成。薄膜在压⼒的作⽤下变形，从⽽改变电容器

的容量，其灵敏度⼤致与薄膜的⾯积和压⼒成正⽐⽽与薄膜的张⼒和薄膜到固定电极的距离成

反⽐。另⼀种型式的固定电极取凹形球⾯状，膜⽚为