基于声光调制器的激光外差滚转角测量方法.docx

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摘要

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西安交通大学本科毕业设计(论文)

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摘要

在数控机床的21项几何误差中,滚转角误差的测量最为困难。当前,现有的成熟仪器例如双频激光干涉并不能实现对滚转角误差高精度测量。如何实现滚转角误差的高精度测量,并与其它自由度上的误差测量进行结合,一直没有得到很好地解决。因此研究一种高精度的滚转角测量方法,具有重要的研究意义。

为解决基于双频激光器的外差干涉技术的滚转角测量方法中的相位波动问题,本课题组提出了基于声光调制器的激光外差技术滚转角测量方法。基于声光调制器的激光外差技术测量滚转角以二分之一波片和偏振分光棱镜的制造精度产生角度增益。该方法以其光路

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