2-编写说明-台阶仪校准规范.docx

国家计量技术规范

台阶仪校准规范

编制说明

规范起草小组

《台阶仪校准规范》编写说明

规范制定的必要性

台阶仪是用于台阶高度参量测量的精密几何量通用仪器，其通过接触式测针对被测物表面形貌进行2D线扫描或3D面扫描测量，得到被测表面轮廓结构特征，通过分析软件进而对表面台阶高度轮廓进行分析计算。该类型仪器按测量传感器不同分为电容式、电感式和光电式，测量时通过专用测针在被测物表面进行单向扫描，将扫描过程中测针在被测表面高低起伏的运动变化转化为电信号，经放大整流后解调出位移信号，通过分析软件按照ISO5436中规定的通用方法进行台阶高度或垂直阶差高度的分析计算。该仪器主要用于精密加工制造、半导体和集成电路制造、电镀等膜层制备、手机或显示器平板器件等精密制造领域各种测试样板中垂直高度参量的测量。

鉴于台阶仪和台阶高度样板在半导体和集成电路制造、各类型液晶平板制造、精密制造中的广泛应用，该型仪器在国内的校准需求也越来越大，国内用户迫切希望对所用仪器的测量精度进行评价，解决仪器目前没有技术规范作为评价依据的问题。目前国外设备厂商均与国家计量院进行过技术交流，也对校准方法提出了相应需求，并希望计量部门给出一体化的解决方案，建立相应的计量体系，制定符合设备需求的校准规范。

台阶高度测量源自于表面粗糙度参数中对高度参数的评定，但其与评定方法有差别较大，其国内外的法规标准较为完善。国际上早已制定了相关的国际标准ISO5436-1-2000MeterialMeasurement和ISO5436-2-2000SoftwareMeasurmentStardards，国内也对该标准进行了转化制定了相应的国家标准GB/T19067.1-2003产品几何量技术规范(GPS)表面结构轮廓法测量标准第1部分:实物测量标准和GB/T19067.2-2004/ISO5436-1:2000产品几何量技术规范(GPS)表面结构轮廓法测量标准第2部分：软件测量标准。因此对台阶高度测量技术标准还是较为完善的，

任务来源

中国计量院牵头，向全国几何量工程参量计量技术委员会申请制定《台阶仪校准规范》，国家市场监督管理总局发布计量函《市场监管总局计量司关于国家计量技术规范制定、修订及宣贯计划有关事项的通知》，将本规范纳入国家计量技术规范制定计划，由全国几何量工程参量计量技术委员会组织制定，中国计量科学研究院和浙江省计量科学研究院作为主要起草单位承担具体制定任务。山东省计量科学研究院、河南省计量科学研究院参加起草。

规范编制的主要原则及技术依据

编制原则

起草小组在制定该规范的过程中，力求按以下原则完成规范的起草工作：

1.1参照国际标准和国家相关法律法规，并尽量与国家标准保持一致，保证规范的先进性和可行性；

1.2在检测用装置装备的选择上，既要采用先进的仪器设备，性能可靠，又要考虑经济性、便捷性、实用性；

1.3在检测方法的设计上，在保证精度的基础上，兼顾测量方法的可行性、经济适用及操作方便等要求。

技术依据

规范编制过程中重点参考了以下标准、规程、规范：

JJF1071-2010国家计量校准规范编写规则

JJF1105-2018触针式表面粗糙度测量仪校准规范

GB/T19600-2004产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的校准

GB/T19067.1-2003产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第1部分：实物测量标准

GB/T6062-2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的标称特性

GB/T33523.701-2017产品几何技术规范(GPS)表面结构区域法第701部分：接触(触针)式仪器的校准与测量标准规范制定计划

四、规范制定计划

起草小组筹备和组成

起草小组的筹备考虑参编单位组成应包括计量技术机构和研发制造应用单位。相关的计量技术机构应在台阶仪计量校准方面有较好的技术基础和经验积累；相关的研发制造单位其产品在国内有较广泛的推广和应用，产品技术性能得到行业认可。

主要起草单位为中国计量科学研究院、南京市计量院监督检测院和浙江省质量科学研究院，参与起草单位仪器制造商深圳市中图仪器股份有限公司和KLA台阶仪的技术服务商上海微纳计量技术有限公司。

起草过程

2.1规范起草小组启动规范编写工作，中国计量科学研究院完成了草案稿规划设计，就规范的框架，项目管理原则和分工，工作进度，试验安排，起草的重点和难点等内容进行了讨论和安排。

2.2起草组完成了初稿编写，同时进行了相关测量试验，对规范草案逐条进行了分析研究和讨论，对试验方法、试验结果，规范草案稿进行总结和修改；

2.3起草小组对草案稿再次进行了逐条的认真分析和修改，对行文中