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紫外光学法微纳线宽校准规范
不确定度评定示例
A.1测量方法
在工作台上放置微纳线宽样板，调焦至成像清晰，并细微调整样板位置，使样板成像于影像屏幕的中间合适位置，利用仪器测量软件采集测量。
A.2测量模型
在标准参考温度20℃下，测量状态下被校准样板的线宽是通过直接测量得到的，因此
y=W （
式中，
y—被测样板的测量结果；
W—被校准样板在测量条件下通过计算得到的数值。
根据测量时的实际状态，综合分析对测量结果会产生影响的误差来源，不确定度来源如下：
（a）仪器引入的不确定度；
（b）样板均匀性引入的不确定度；
（c）环境等因素引入的不确定度。
实验中，环境因素引入的不确定度相比于其他不确定度可忽略不计，因此可得微纳线宽不确定度的数学模型为：
W=W+δW
式中：
δ（
δ（
A.3方差和灵敏系数
考虑到各输入量彼此独立，其合成标准不确定度为：
u2W=c
其中c1、c2为灵敏系数，均取
A.4微纳线宽标准样板测量不确定度评定
本实例中采用的标准样板为线宽293.1μm的纳米线宽样板。
A.4.1仪器测量引入的不确定度
本规范中，紫外光学显微镜测量微纳线宽的最大示值误差（MPE）为±6μm。按照均匀分布，包含因子k=3，因此可得因此可得
uW1=6
A.4.2样板均匀性引入的不确定度
对选用的微纳线宽标准样板三个不同位置分别进行连续重复测量，计算测量结果的实验标准偏差，采用A类方法进行不确定度评定。
uW2=0.36μm
A.4.4合成标准不确定度
uW=u
A.4.5扩展不确定度
UW=k×u
紫外光学法微纳栅格校准规范
不确定度评定示例
B.1测量方法
在工作台上放置微纳栅格样板，调焦至成像清晰，并细微调整样板位置，使样板成像于影像屏幕的中间合适位置，利用仪器测量软件采集测量。
B.2测量模型
在标准参考温度20℃下，测量状态下被校准样板的栅格间距是通过直接测量得到的，因此
y=P （
式中，
y—被测样板的测量结果；
P—被校准样板在测量条件下通过计算得到的数值。
根据测量时的实际状态，综合分析对测量结果会产生影响的误差来源，不确定度来源如下：
（a）仪器引入的不确定度；
（b）样板均匀性引入的不确定度；
（c）环境等因素引入的不确定度。
实验中，环境因素引入的不确定度相比于其他不确定度可忽略不计，因此可得栅格间隔的数学模型为：
P=P+δP1
式中：
δ（
δ（
B.3方差和灵敏系数
考虑到各输入量彼此独立，其合成标准不确定度为：
u2P=c
其中c1、c2为灵敏系数，均取
B.4微纳栅格标准样板测量不确定度评定
本实例中采用的标准样板为栅格间距为49.78μm的微纳栅格样板。
B.4.1仪器引入的不确定度
本规范中，紫外光学显微镜测量微纳栅格的最大示值误差（MPE）为±1μm。按照均匀分布，包含因子k=3，因此可得：
uP1=
B.4.2样板均匀性引入的不确定度
对选用的栅格样板9个不同位置分别进行连续重复测量，计算测量结果的实验标准偏差，采用A类方法进行不确定度评定。
uP2=0.15μm
B.4.4合成标准不确定度
uP=u
B.4.5扩展不确定度
UP=k×
中华人民共和国
国家计量技术规范
XXXXXXXX校准规范
JJFXXXX—XXXX
国家市场监督管理总局发布
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