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台阶仪校准规范
实验报告
规范起草小组
《台阶仪校准规范》
实验验证报告
实验目的
台阶仪是用于台阶高度参量测量的精密几何量通用仪器，其通过接触式测针对被测物表面形貌进行2D线扫描或3D面扫描测量，得到被测表面轮廓结构特征，通过分析软件进而对表面台阶高度轮廓进行分析计算。该类型仪器按测量传感器不同分为电容式、电感式和光电式，测量时通过专用测针在被测物表面进行单向扫描，将扫描过程中测针在被测表面高低起伏的运动变化转化为电信号，经放大整流后解调出位移信号，通过分析软件按照ISO5436中规定的通用方法进行台阶高度或垂直阶差高度的分析计算。该仪器主要用于精密加工制造、半导体和集成电路制造、电镀等膜层制备、手机或显示器平板器件等精密制造领域各种测试样板中垂直高度参量的测量。
图1测量示意图
实验地点和环境条件
北京市朝阳区中国计量科学研究院几何量所恒温恒湿实验室1001。
实验用标准器
标准器名称：光学平晶、标准台阶标准块、计量型微位移装置
光学平晶参数：直径φ150mm；Pv值37nm
台阶标准块标称高度：921.9nm、8.192?m、49.384?m
台阶标准块精度：U=0.5nm+0.4%H，k=2
计量型微位移台不确定度：U=0.2nm+0.04%L，k=2
标准器量值均溯源于长度基本单位米。
实验方法
导轨直线度
放置光学平晶在台阶仪的工作平面上，在台阶仪导轨全量程约100mm范围内使用台阶仪的探针沿着平晶表面进行扫描，通过测量台阶仪测得Pt值（轮廓峰高到轮廓谷深之间差值），得出导轨的直线度偏差。
测量重复性
使用仪器最小量程档，选取一块量程内的台阶标准块，在样板台阶测量区域内某一固定位置重复测量10次，并按3W原则选择测量剖面同一台阶区域进行统计分析，以10次测量结果的标准偏差作为仪器的测量重复性。
图2台阶高度评价3W准则示意图
台阶高度示值误差
4.3.1标准台阶高度样板检测法
如同4.2方法放置台阶标准块至台阶仪工作台上，并调整台阶仪量程至相应量程进行测量，测量时，探针滑行方向应垂直于样板台阶边缘，按3W原则取测量剖面的左右两侧台阶的台阶高度值，并在台阶标准块标示认证区域内，以中心线为主要测量剖面，向上及向下分别在不超过认证区域范围内等距取另两剖面，取三个剖面台阶高度平均值作为台阶仪读数，与台阶标准块的读数差与即为台阶仪的示值误差，要求每个量程档在其总量程的5%-50%范围内至少测量一组数据。
图3常见台阶样板结构示意图
中心扫描位置；2—台阶面；3—台阶底部基面
计量型微位移装置测量
计量型微位移装置由以下部件构成：超光滑的工作平面、柔性铰链驱动单元以及可直接追溯到位移传感器（例如激光干涉仪）。
图4装置结构示意图
首先，将计量型微位移装置固定在台阶仪的样品台上，并进行归零操作。接着，设定台阶仪的扫描长度为L、扫描速率等参数，并进行调平操作。然后，启动台阶仪进行扫描测量。在扫描长度的L/3处，控制计量型微位移装置产生一个高度为H的位移；在2L/3处，再控制计量型微位移装置回到归零位置。通过分析台阶仪扫描得到的轮廓，计算出台阶的实际高度Ht。最后，将计算得到的Ht与计量型微位移装置设定的高度H进行比较，两者之间的差值即为台阶仪本次测量的误差。
实验内容
5.1对KLA公司台阶仪的实验测试：
5.1.1试验1导轨直线度试验：
仪器型号
TencorP-17
仪器编号
7092184
仪器制造厂商
KLA公司
试验用标准器
平面平晶
标准器型号
φ150mm
标准器编号
190508061
标准器制造厂商
北京计量仪器厂
温度℃
19.5-20.5
相对湿度%
40~60
试验人员
杜华，李加福，罗明哲、朱小平
试验地点
中国计量院和平里院区5号楼1001房间
图5平晶放置工作台上测量导轨直线度
图6软件处理找平并尖峰去噪
平晶直径
φ150mm
探针测力
2mg
扫描速度
200?m/s
扫描长度
100mm
测量量程档
1048?m
采样速率
200Hz
测量参数
测量值1
测量值2
测量值3
测量值4
测量值5
平均值
Pt
61.5nm
41.6nm
46.6nm
51.9nm
57.0nm
51.7nm
5.1.2试验2台阶仪示值误差试验
仪器型号
TencorP-17
仪器编号
7092184
仪器制造厂商
KLA公司
试验用标准器
台阶标准块
标准器型号
SHS-9400QC/SHS-8.0QC/
SHS-50.0QC
标准器编号
8897-54-03/13153-40-06/
13153-30-13
标准器制造厂商
VLSI
温度℃
19.5-20.5
相对湿度%
40-60
试验人员
杜华，李加福，罗明哲、朱小平
试
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