PERC-SE-单晶电池工艺-培训资料.pptxVIP

PERCSE高效单晶电池

生产工艺培训;前言-太阳能电池在整个光伏产业链中的位置;PERCSE电池结构为在正面制备选择性发射结，背面沉积介质膜钝化层AlOx/SiNx，此结构可提高电池光电转换效率。

降低扩散层复合，提高光线的短波响应；

减少前金属电极与硅的接触电阻，提高短路电流、开路电压和填充因子；

降低背表面复合速率，提升开路电压；

增强背表面长波光反射效应，提升短路电流。;PERC高效电池工艺流程;制绒原理：

一定浓度、一定温度条件下，碱溶液与硅片反应，各向异性腐蚀；

目的：

去除表面损伤层，降低表面反射率（多次光吸收）；

化学反应式：

Si+2KOH+H2O→K2SiO3+2H2↑

绒面结构：;;扩散原理：

采用三氯氧磷（POCl3）液态源扩散方法，在硅片表面形成N型层；

目的：

形成PN结（太阳电池核心单元）；

化学反应式：

4POCl3+3O2→2P2O5+6Cl2↑

2P2O5+5Si→5SiO2+4P↓;;①SE电池：;SE单晶PERC电池;刻蚀原理：

实现硅片的单面腐蚀（对于PERC电池，背面刻蚀和抛光尤为重要）；

目的：

PN结边缘隔离和背面抛光；

化学反应式：

3Si+4HNO3→3SiO2+4NO+2H2O

SiO2+6HF→H2[SiF6]+2H2O;;热氧原理：

将已形成PN结的硅片放入高温炉中，在高温下氧气和硅反应生成