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光学仪器分辨率检测系统的光学系统设计.docx

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    光学仪器分辨率检测系统的光学系统设计

    光学仪器分辨率检测系统的

    光学系统设计

    OpticalSystemDesignofAutomaticResolutionSystemforOpticalInstrument

    PAGEI

    摘要

    在日常生活中光学成像仪器得到越来越广泛地应用，小到眼镜、手机，大到光刻机、激光焊接机，都能看到光学系统。而光学系统由于其特性，细小的误差都会带来巨大的成像差别，因此光学仪器在出厂前都要进行性能检测，分辨率就是其检测指标之一。针对已确

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