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本实用新型公开了一种晶圆盒传输机构，其技术方案要点是：包括输送
皮带，输送皮带的下侧面边缘固定设置有多个均匀排列的夹取机构，夹取机
构包括升降杆，升降杆的下端固定有水平的夹取杆，夹取杆可进行伸缩调节，
且夹取杆的一端与升降杆的下端部固定连接，夹取杆的下侧靠近两端位置均
可拆卸安装有对晶圆盒进行夹取的夹头，输送皮带对夹取机构进行连续的输
送，并通过夹取机构上的夹取杆配合夹头对晶圆盒进行夹取，并通过升降杆
对夹取的晶圆盒进行升降控制，从而实现对晶圆盒的夹取和连续性的传输，
从而大大的提高清洗传输的效率。
摘要附图
3
2
1
5
4
1
权利要求书
1.一种晶圆盒传输机构，包括输送皮带(2),其特征在于：所述输送皮带(2)
的下侧面边缘固定设置有多个均匀排列的夹取机构(3),所述夹取机构(3)
端部固定连接，所述夹取杆(32)的下侧靠近两端位置均可拆卸安装有对晶
圆盒进行夹取的夹头(33)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒传输机构，其特征在于：所述输送皮带
其中一个所述的辊轮(5)的中心轴穿过支撑板(1)连接有电机，所述电机
的输出轴与辊轮(5)的中心轴固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒传输机构，其特征在于：所述输送皮带(2)
的上侧面设置有两个环状的导电条(21),所述支撑板(1)上安装有两个分
别与两个导电条(21)接触的接电机构(4)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒传输机构，其特征在于：所述接电机构(4)
且塑料杆(42)的下端设置有与铜芯(41)连接的导电块(43)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆盒传输机构，其特征在于：所述夹头(33)
且夹槽面(333)设置为锯齿状。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆盒传输机构，其特征在于：所述夹取杆(32)
的内孔与插杆(331)的横截面尺寸相同。
1
说明书
一种晶圆盒传输机构
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆盒传输机构。
背景技术
在晶圆加工时，需要对晶圆进行清洗，而在清洗时的晶圆通常以一定数
量存放到晶圆盒中，然后由晶圆盒传输机构将晶圆盒连通晶圆送入各种清洗
设备中。
的长方形框架结构的抓取架能够在旋转驱动件的转动下向相反方向转动，并
能够抵靠住晶圆盒的侧边凸缘，抓取架由通过紧固螺母固定在支撑架上的伸
入U形的支撑架内的U形抓取杆组成，U形抓取杆可以根据实际需要使用的
清洗液的情况更换U形抓取杆，从而使U形抓取杆能够与清洗液形成配合关
系，使U形抓取杆能够使用不同酸碱性的清洗液。
但是上述的晶圆传输机构在对晶圆盒进行清洗输送时则是通过机械手组
件来回的移动从而对晶圆盒进行抓取清洗和输送，这种晶圆盒传输方式无法
实现连续性的传输，不利于晶圆盒传输效率的提高。
实用新型内容
针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆盒传输
机构，以解决上述的晶圆传输机构无法实现连续性的传输，不利于晶圆盒传
输效率提高的问题。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
一种晶圆盒传输机构，包括输送皮带，输送皮带的下侧面边缘固定设置
有多个均匀排列的夹取机构，夹取机构包括升降杆，升降杆的下端固定有水
平的夹取杆，夹取杆可进行伸缩调节，且夹取杆的一端与升降杆的下端部固
定连接，夹取杆的下侧靠近两端位置均可拆卸安装有对晶圆盒进行夹取的夹
头。
通过采用上述技术方案，输送皮带对夹取机构进行连续的输送，并通过
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