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人人好公，则天下太平；人人营私，则天下大乱。——刘鹗
压阻式电子称传感器的设计
【摘要】：电阻应变式传感器是基于导体或半导体的应变电阻效应，将测量物体形变转化成
电阻变化的传感器。通常由两部分组成，即弹性敏感元件和应变计（丝）。弹性敏感元件在
被测物理量的作用下，产生一个与被测量成确定函数关系的应变，再用应变计（丝）作为转
换元件将应变转换为电阻变化，从而产生感应电压，再通过测量电路转化为信号形式输出
【关键字】：应变片直流电桥温度补偿差动放大零点漂移
一．半导体的压阻效应
固体收到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应。半导体材料的压阻
效应特别强，即半导体材料在某一轴向受外力作用时，其电阻率发生的变化较大。
1．半导体压阻效应原理
半导体应变片是用半导体材料制成的一种纯电阻性元件，其工作原理基于半导体材料的压阻
效应。
半导体应变片受轴向力作用时，其电阻相对变化为
（1）
式中，为半导体应变片的电阻率的相对变化量。其值与半导体敏感元件在轴向受的应变
力关系为
（2）
式中，为半导体的压阻系数，它与半导体材料种类及应力方向与晶轴方向之间的夹角有
关；E为半导体材料的弹性模量，与晶向有关。
将试（2）代入式（1）中，得
（3）
实验证明，对半导体材料，比大上百倍，所以（）可以忽略，因
此
（4）
2．半导体应变片的灵敏度系数
半导体材料的电阻值变化主要是由电阻率变化引起的，而电阻率的变化是由应变引
起的。所以，半导体应变片的灵敏度系数为
（5）
半导体应变片的突出优点是灵敏度高，比金属丝高50～80倍，尺寸小,横向效应小，动
态响应好。但它的温度系数大、应变时非线性现象比较严重等缺点。
二．传感器各元器件的选择
电阻应变称重传感器选用等强度梁做弹性元件，使贴片位置不受限制，结构也简单；
了提高系统灵敏度，选用膜片式半导体应变片做转换元件；测量电路为恒流源供电电桥，温
度补偿电路。
1．应变片的选择
按照结构划分，压阻式传感器主演由三种不同类型，即体型半导体、薄膜型半导体和扩
散性半导体。
1）体型半导体应变片
体型半导体应变片是一种将半导体材料硅或锗晶体按照一定法相切割成片状小条，经腐
蚀压焊粘贴在基片上而成的应变片，其结构如图
2）薄膜型半导体应变片
薄膜型半导体应变片是利用真空沉淀技术，将半导体材料沉淀在带有绝缘层的试件上而
制成，其结构如图
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人人好公，则天下太平；人人营私，则天下大乱。——刘鹗
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