先进表面工程技术.pptVIP

5先进表面工程技术的产业化塑料薄膜或纸张基片上镀铝制成的薄膜电容器；新型复合包装材料；老式镀膜幕墙玻璃；高效太阳能薄膜集热器；TiN系(包括Ti(c，N)、TiC等高硬膜，(Ti，Al)N等抗高温氧化膜，CrN耐磨耐蚀膜，ZrN高温高强膜及其多层复合涂层)耐磨涂层刀具、模具和量具；液晶显示器用ITO透明导电膜。先进表面工程事例薄膜型电阻、电容、电感；背投电视光反射膜、过滤膜系列；磁盘、光盘、磁头的功能膜和防护膜；燃气轮机叶片MCrAlY系抗热腐蚀涂层；等离子体显示器MgO功能涂层；自清洁玻璃；光催化杀菌消毒薄膜；塑料容器高阻隔性薄膜；新式镀膜幕墙玻璃(吸收紫外，反射红外，透光)。正在和即将实现高新技术产业化的事例有待进一步研究的

先进表面工程技术事例低介电常数基片；用途更广的新一代ZnO基透明导电膜；高耐热高绝缘高导热封装薄膜；高热导率基片；新一代铁电存储器；更高记录密度的薄膜磁头，其磁头起飞高度由25nm进一步降到15nm，需采用新的磁记录功能膜和磁记录、耐磨损两种功能一体化的磁记录功能膜材料；先进表面工程技术

发展前沿概述先进表面工程技术是当代材料科技、真空科技与高科技的交叉领域和发展前沿，成为现代高新技术领域和先进制造业的重要前沿之一，在高性能防护涂层和功能薄膜方面应用广泛。01先进表面工程的发展趋势、工艺过程及其新进展与当代科技架构的关系以及先进表面工程技术的产业化。02在先进表面工程技术中采用远离平衡态镀膜技术、等离子体技术、激光技术、纳米技术等均取得了良好的应用效果。03先进表面工程技术先进的表面工程技术的若干走向；先进表面工程的发展趋势；工艺过程研究及其新进展；先进表面工程技术的发展前沿。先进表面工程技术的产业化；当代科技架构和纳米科技；010203040506主要内容1先进的表面工程技术的若干走向功能涂层和薄膜技术

近年来发展迅速先进表面工程技术是当代材料科学技术、真空科技与高技术的重要交叉领域和发展前沿。先进表面工程技术在高性能防护涂层方面的应用，仍在继续发展，成为现代高新技术领域和先进制造业的重要前沿之一。1作为体材料的制备工艺：如电铸成型、气相沉积特种材料（热解石墨、六方氮化硼、碳化硅）、喷射成型等，2薄膜和微制造工艺：特征尺寸还在不断地向更低数值扩展。3微小特征尺度的先进表面工程技术正在逐步发展成为微／纳技术的重要组成部分。新型材料制备工艺2.先进表面工程的发展趋势指通过形成原子分散状态的物质来沉积所需表面层或薄膜的技术：01液相沉积：如电镀、化学镀、电泳、溶胶一凝胶等；02气相沉积：物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、分子束外延(MBE)三大类别。03PVD：蒸发、溅射和离子镀三类；04CVD：热CVD(TCVD)、金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)和等离子体增强CVD(PECVD)等。05①原子沉积是指利用宏观颗粒状态的物质，沉积所需薄膜的方法。热喷涂、冷喷涂、静电喷涂。②颗粒沉积是指利用连续介质状态的物质，形成所需薄膜的方法。如包镀、热浸、表面烧结。③整体复盖是指通过对基体表面施加力学、物理和化学的作用，直接形成所需特性的表面层。例如，表面研磨、表面抛光、表面粗化、表面喷丸、表面滚花、表面化学刻蚀、载能束表面刻蚀、表面应力控制、表面晶粒细化(纳米化)、化学转化层、离子渗氮(碳、碳氮)、渗铝和硅铝共渗、阳极化、磷化、硫化、氧化(发兰)、表面辐照、离子注入等。12④表面改性是否属于先进表面工程，

并不是一成不变的液相沉积、液相化学刻蚀等“湿法技术”直到80年代初仍是集成电路微细加工技术的主流工艺，作为整个信息技术领域需要的配套，发展了一大批高性能高效率低成本的微／纳米加工技术。而到了90年代，随着集成电路特征尺寸接近和进入纳米范围，气相沉积、等离子体刻蚀、载能束刻蚀等“干法技术”逐渐地，又是不可逆转地变成了微细加工技术的主流工艺。薄膜技术和刻蚀技术从整体上构成了当代微细加工技术的主体，并提供了向纳米加工进军的扎实可靠途径。越来越倾向于采用

真空气相沉积薄膜技术分子束外延、激光分子束外延(LMBE)、脉冲激光沉积(PLD)、超高真空化学气相沉积(UVCVD)等，可提供极端条件，有利于了解规律性，以得出创新性强的结果。既提供远离平衡态条件，

又具有节能、环保等优良综合性能直流磁控溅射(DCMS)、射频磁控溅射(RFMS)、射频化学气相沉积(RFCVD)、中频磁控溅射(MFMS)、脉冲偏压电弧离子镀(PBAIP)。因而有可能逐步发展成更为常用的方法。01则要求全面