半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）阀门技术规范（征求意见稿）.pdf

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半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物PFA阀门技术规范

1范围

本文件给出了半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）阀门（以下简称“PFA阀门”）的工

作条件，规定了PFA阀门的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于PFA阀门的设计与检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T2828.1—2012技术抽样检验程序第1部分:按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计

划

GB/T10610产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法

GB/T12220工业阀门标志

GB/T13927工业阀门压力试验

GB/T13979质谱检漏仪

GB/T17213.9工业过程控制阀第2-3部分:流通能力试验程序

GB/T44580热塑性塑料阀门疲劳强度试验方法

SEMIF57-2001用于超纯水和液体化学分配系统的聚合物组件的临时规范（Provisional

specificationforpolymercomponentsusedinultrapurewaterandliquidchemical

distributionsystems）

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

阀门valve

用来控制管道内介质的，具有可动机构的机械产品的总体。

[来源：GB/T21465—2008，2.1]

4工作条件

PFA阀门在5℃～120℃温度下应能正常工作。

5技术要求

外观

PFA阀门内外表面不允许有裂纹、气泡、脱皮和明显的杂质、缩形、色泽不均和分解变色等缺陷。

壁厚及公差

PFA阀门尺寸与公差应符合表1的规定。

表1公制软管尺寸表

单位为毫米

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外径标称内径标称公差壁厚公差

32±0.100.50±0.05

43±0.101.00±0.05

64±0.101.00±0.10

86±0.101.00±0.10

108±0.101.00±0.10

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