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LCD显示彩膜用彩色光刻胶性能测试方法

1范围

本文件介绍了LCD显示彩膜用彩色光刻胶本身及成膜性能的测试条件与测试方法。

本文件适用于LCD显示用彩色光刻胶的制造、质量控制、测试与研发。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文

件。

GB/T13173-2021表面活性剂洗涤剂试验方法

GB/T15357-2014表面活性剂和洗涤剂旋转粘度计测定液体产品的粘度和流动性质

GB/T43793.1-2024平板显示用彩色光刻胶测试方法第1部分：理化性能

3术语和定义、缩略语

3.1术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1.1

线宽criticaldimension（CD）

光刻过程中所形成的图形的尺寸。

3.2缩略语

下列缩略语适用于本文件。

CD：关键尺寸（criticaldimension）

VCD：真空干燥（VacuumDrying）

4测试环境要求

4.1洁净度要求

制片环节需要在百级无尘室进行。

测试环节可以在千级无尘室进行。

4.2环境条件

除非另有规定，测试应在下列条件下进行：

a)环境温度：23℃±2℃；

b)相对湿度：30％~70%；

c)大气压强：86kPa~106kPa。

1

4.3回温

样品取出后放置于常温环境下15min。

4.4储存要求

光刻胶的储存要求如下：

a)环境温度：5℃±5℃；

b)相对湿度：30％~70%。

光刻胶制得的样片的储存要求如下：

a)环境温度：23℃±2℃；

b)相对湿度：30％~70%。

5测试方法

5.1固含量

5.1.1仪器

电子天平（精度：0.001g）。

5.1.2测试条件

固含量测试条件应符合以下规定：

a)应符合测试环境要求规定；

b)黄光条件下检测，可为实验室中光源加滤光膜，滤除500nm以下的光波。

5.1.3测试步骤

参考GB/T43793.1-2024中5固含量规定的测试方法，测试步骤如下：

a)使用电子天平称量培养皿质量，精确至1mg，记为m；

b)取1g±0.01g样品于培养皿中，称其质量，精确至1mg；记为M；轻轻晃动容器使样品在培养1

皿（直径60mm）皿底充分摊平，使其铺满底盖并保持液膜厚度均匀；

c)将盛有样品的培养皿放入已预先达到测试温度（110±2℃）的热风循环烘箱内，测试时间为180min

±5min；

d)从烘箱中取出盛有测试样品的培养皿，放入干燥器中冷却至室温，称其质量，精确至1mg，该质量

记为M；2

e)测试样品的固含量以X（质量分数）表示，按公式（1）计算：

=−−×100%（1）

21

式中:

M——烘干前测试样品和培养皿的质量,单位为克(g)；

1

m——培养皿的质量,单位为克(g)；

M——烘干后测试样品和培养皿的质量,单位为克(g)。

2

f)样品的固含量按步骤a）~步骤e）进行3次测试,或同时进行3个样品测试，取平均值,保留3位有

效数字,相对标准偏差(RSD)应不超过5%。

5.2粘度

5.2.1仪器与试剂

2

a)恒温水槽（用于保持样品在温度25℃±0.1℃以内）；

5

b)旋转粘度计（1mPa·s~10mPa·s，按照JJG1002的规定检定和校准黏度计）。

标引序号说明：

1——电机；

2——处理中心，提