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《互连线单粒子串扰效应的建模与分析》读书记录
目录
内容简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2
1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2
1.2研究意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.3文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
互连线单粒子串扰效应概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
2.1单粒子串扰的定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
2.2SET的类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
2.3SET的影响因素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
SET建模方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
3.1常规建模方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
3.1.1经典电学模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
3.1.2传输线模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
3.2高级建模方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
3.2.1随机波动模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
3.2.2有限元分析模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
SET分析方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
4.1静态分析方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
4.1.1响应面法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
4.1.2敏感性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
4.2动态分析方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
SET建模与分析实例．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
5.1某款芯片互连线SET建模实例．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
5.1.1模型建立．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
5.1.2结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
5.2SET对电路性能的影响分析实例．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
SET的缓解策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
6.1设计层面的缓解策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
6.1.1优化互连线路结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
6.1.2采用低串扰材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
6.2制造层面的缓解策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
6.2.1改进光刻工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
6.2.2使用抗串扰器件．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
总结与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
7.1研究成果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
7.2SET研究的未来方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
1.内容简述
本书主要围绕互连线单粒子串扰效应（SER）这一微电子领域的关键问题展开深入探讨。作者首先对单粒子串扰现象的背景、产生原因及影响进行了详细
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