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尘埃充电与电离效应对等离子体鞘层的影响.pdf

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摘要

摘要

当等离子体与固体材料表面接触时,由于电子和离子的迁移性不同,接触

面附近会形成一个非电中性区域,这个区域被称为等离子体鞘层。鞘层的特性

决定了等离子体边界的相互作用过程,研究鞘层特性对等离子体探针测量、等

离子体刻蚀和聚变装置中等离子体与壁相互作用等实际应用具有重要的意义。

尘埃颗粒广泛存在于空间等离子体和实验室等离子体环境中。在等离子体中,

尘埃颗粒因与带电粒子碰撞、离子溅射以及二次电子发射等过程而带电。带电

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