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Ch3Sputtering/溅射;引子－Whatissputtering?;
①荷能粒子为几十个电子伏特的粒子
－－说明入射粒子的能量范围
②入射粒子或粒子束，一般意义上的溅射就是指离子溅射。
③出射原子靠近表面;;3.1、等离子体－Howcansputteringhappen?;6;7;2、Howisaplasmacreated?;anelectricfieldisintroducedthatacceleratesthefreeelectrons
theacceleratedfreeelectronscollidewithneutralgasmolecules
followingthecollision,oneofthreethingscanhappen:
a.dissociation
b.ionization
c.excitation;3、Chargeofplasma;11;;等离子体鞘层：;;分解－Dissociation:
Gasmoleculesarebrokendownintosmallerfragmentscalled“FreeRadicals”:
M+e-=M1+M2+e-
Freeradicalsarehigh-energychemicalspecies.
Althoughtheyareelectricallyneutral,theyareunstable.
Theyreadilyreactwithothersubstancesinordertoachieveamorestableconfiguration.;Dissociation:
Intheexampleshown,thefreeradicalClisgenerated.ThestablestateofchlorineisCl2.
SinceCl(byitself)is unstable,itreadily
reactswithaluminum
asfollows:
Al(s)+3Cl(g)?AlCl3(g)
Thisisanaluminum
etchprocess.;Dissociation:
ThereverseprocessofDissociationiscalledRecombination.
Iftheyarenot“usedup”inotherchemicalreactions,thefreeradicalswillspontaneouslyrecombinetoresumetheirmorestablestates:
CCl3+Cl?CCl4
FreeRadicalsaretheusefulproductsofaplasmathatareusedin:
PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition(PECVD)
outcomeofthechemicalreactionisasolid
PlasmaEtchingandPlasmaCleaning
outcomeofthechemicalreactionisavapor;Electron(s)areknockedloosefromaneutralatomormolecule
M+e-=M++2e-
Theresultantpositively chargedparticlesare called“ions.”
Sincetheycarryan electriccharge,ions canbemanipulatedbyan electricfield.;ImpactIonization:
Intheequationonthepreviousslide,itshouldbenotedthattherearenowTWOfreeelectrons, followingthecollision.
Thisdoublesthe
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