《半导体装备用电容薄膜真空计对比法测试标准》团体标准编制说明.pdf

广东省真空学会团体标准

《半导体装备用电容薄膜真空计对比法测试标准》（征求意见稿）

编制说明

一、工作简况

1.任务来源

本团体标准根据《广东省真空学会广东省真空学会团体标准管理办法的通

知》要求进行制定。起草单位有季华实验室半导体技术研究部、暨南大学、佛山

市佛欣真空技术有限公司、中山共享光电真空技术有限公司。《半导体装备用电

容薄膜真空计对比法测试标准》团体标准由广东省真空学会归口。

2.主要工作过程

提案、立项阶段：2021年1月，广东省真空学会发布了关于《广东省真

空学会广东省真空学会团体标准管理办法的通知》。2021年11月，季华实验

室半导体技术研究部向广东省真空学会提出了制定《半导体装备用电容薄膜真空

计对比法测试标准》团体标准的申请，获得了广东省真空学会的批准和立项。

起草（草案、论证）阶段：2021年11月，由季华实验室半导体技术研究

部、暨南大学、佛山市佛欣真空技术有限公司、中山共享光电真空技术有限公司

联合成立了标准工作组，并开始对标准的范围、术语与定义，及各章节内容进行

了细致讨论。结合企业实际情况，对标准内容进行了制定，形成了标准征求意见

稿。

3.征求意见

2021年12月，学会向各相关单位及专家发送标准征求意见的函，将开展

为期30日的广泛意见征集工作。征集相关单位对标准范围、可操作性、语言表

述等方面的意见建议。

二、标准的编制原则

本标准在起草过程中，主要遵从了以下原则：

1.遵从会员企业实际原则

标准起草过程中，标准化工作组成员广泛查阅相关文献资料，并对电容薄膜

真空计制造商、关键部件供应商、真空计应用的相关设备厂商方进行调研，充分

听取这些领域会员企业的意见。在标准内容上认真研究企业实际应用，在满足半

导体装备用电容薄膜真空计基本功能的前提下，充分反映会员企业实际，做到标

准为团体企业服务、为团体企业产品质量提升提供技术支撑。

2.鼓励技术进步和规范行业发展原则

半导体装备用电容薄膜真空计主要以国外产品为主，国内产品种类少，技术

水平相对较低，难以满足国内半导体装备的使用需求。为鼓励国内半导体装备用

电容薄膜真空计技术发展，标准在条款上尽量只陈述原则和要求，对个性化的产

品特征不做限制，鼓励技术创新。同时积极参考国内外最新的技术要求，保证了

标准内容的先进性。

3.与其它标准的协调一致原则

标准起草过程中，细致研究国内目前现有真空计相关的国家标准、行业标准、

地方标准以及企业标准，结合JJF1503-2015《电容薄膜真空计校准规范》、

ISO/TS35672011E-Vacuum

：（）《真空计与标准真空计直接比对的标准》（

gauge-Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge）等已有标准，在内

容、术语、试验方法上尽量与其他标准保持协调一致。

三、标准主要内容

本标准规定了半导体装备用电容薄膜真空计的范围、术语和定义、技术要求、

测试装置、测试方法、数据处理、复测时间。

（一）范围

本标准适用于极限压力在0.1Pa-100KPa范围的绝压式电容薄膜真空计。

（二）术语和定义

在JJF1503-2015《电容薄膜真空计校准规范》所规定的术语与定义基础上，

对“校准气体”、“满量误差”、“原级标准”、“国家标准”等名词进行了补充和定

义。

（三）技术要求

对半导体装备用电容薄膜真空计的测试项目以及测试需要满足的条件和环

境要求进行梳理和归纳，使该类真空计的测试要求更加清晰、完整的呈现。同时

也参考了最新的电容薄膜真空计技术进展。

（四）测试装置

对半导体装备用电容薄膜真空计的测试系统和装置进行规范和要求

（五）测定方法

针对半导体装备用电容薄膜真空计的测试项目，提出具体的测试方法及要求，

规范半导体装备用电容薄膜真空计的测试过程。

（六）数据处理

针对半导体装备用电容薄膜真空计的测试数据进行数据处理，如满量程误差、

修正因子、重复性精度等。

四、采用国际标准或国外先进标准的程序及水平说明

查无相关国际标准和