位移与速度测量传感器.pptVIP

电容式传感器的应用*电容式传感器的应用*电容式传感器的应用**1.变极距型电容传感器*1.变极距型电容传感器*输入输出特性：灵敏度：面积变化型电容传感器的优点是输出与输入成线性关系，但与极板变化型相比，灵敏度较低，适用于较大角位移及直线位移的测量。2.变面积型电容传感器3.变介电常数型电容传感器*介质含水量、介质厚度、温度、密度等变化引起介电常数变化，因此可以构成含水量、物位高度、温度等测量用传感器。图中，厚度为δ2的介质（ε2为其介电常数）在电容器中左右运动，由于电容器中介质的介电常数改变，电容量改变。优点：4.3.2电容式位移传感器特点*01040203.温度稳定性好电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。而电阻传感器有铜损等，易发热产生零漂。.结构简单电容式传感器结构简单，易于制造，易于保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力，高冲击，过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。4.3.2电容式位移传感器特点*.动态响应好.可以非接触测量，具有平均效应电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小（约几个10－5N），需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆Hz的频率下工作，特别适用于动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数。例如非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。电容式传感器除了上述的优点外，还因其带电极板间的静电引力很小，所需输入力和输入能量极小，因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力高，能敏感0.01μm甚至更小的位移；由于其空气等介质损耗小，采用差动结构并接成电桥式时产生的零残极小，因此允许电路进行高倍率放大，使仪器具有很高的灵敏度。4.3.2电容式位移传感器特点*2.缺点（1）输出阻抗高，负载能力差电容式传感器的容量受其电极的几何尺寸等限制，一般微几十导几百皮法，其值只有几个皮法，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达108～106Ω。因此传感器的负载能力很差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作，必须采取屏蔽措施，从而给设计和使用带来极大的不便。容抗大还要求传感器绝缘部分的电阻值极高（几十兆欧以上），否则绝缘部分将作为旁路电阻而影响仪器的性能（如灵敏度降低），为此还要特别注意周围的环境如湿度、清洁度等。4.3.2电容式位移传感器特点*（2）寄生电容影响大。电容式传感器的初始电容量很小，而传感器的引线电缆电容、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大，降低了传感器的灵敏度，影响测量精度，因此对电缆的选择、安装、接法都要有要求。（3）输出特性非线性。变极距型电容传感器的输出是非线性的。其它类型传感器也只有忽略电场的边缘效应时，输出才是线性的。4.3.3电容式位移传感器测量电路*1.交流电桥电路交流电桥电路如图4-22所示，高频电源经变压器接到电桥的一条对角线上，电容C1、C2、C3、Cx构成电桥的4个臂，Cx为电容传感器，交流电桥平衡时则U0=0。当Cx改变时，U0≠0，有电压输出。此种电桥电路要求交流电源的幅度和频率都十分稳定；电桥放大器的输入阻抗要高；测量系统的动态响应受电桥供电电源的频率限制，一般要求电源频率为被测信号最高频率的5～10倍。图4-22交流电桥电路4.3.3电容式位移传感器测量电路*变压器电桥如图4-23所示，C1、C2为传感器的两个差动电容。电桥的空载输出电压为对变极距型电容传感器，代入上式得变压器电桥4.3.3电容式位移传感器测量电路*调频电路***4.3.3电容式位移传感器测量电路*4.脉冲宽度调制电路当接通电源后，若触发器Q端为高电平，端为低电平，则触发器通过R1对C1充电；当F点电位UF升到与参考电压Ur相等时，比较器A1产生一脉冲使触发器翻转，从而使Q端为低电平，端为高电平。此时，由电容C1通过二极管D1迅速放电至零，而触发器由端经R2向C2充电；当G点电位UG与参考电压Ur相等时，比较器A2输出一脉冲使触发器翻转，从而循环上述过程。图4-25脉冲宽度调制电路