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2023年等离子体沉积和刻蚀设备项目评估报告.docx

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    等离子体沉积和刻蚀设备项目评估报告

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    等离子体沉积和刻蚀设备项目评估报告

    目录

    TOC\h\z1290前言 3

    5537一、工艺方案的选择 3

    2440(一)、基本要求 3

    16507(二)、典型工艺技术介绍 4

    6297(三)、等离子体沉积和刻蚀设备项目组成 6

    14987(四)、工艺技术方案的选择 7

    12864(五)、工艺技术方案的设计 9

    23858二、等离子体沉积和刻蚀设备项目建设背景 10

    26142(一)、等离子体沉积和刻蚀设备项目提出背景 10

    11843(二)、等离子体沉积和刻蚀设备项目建设的必要性

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