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MEMS麦克风基本知识.docxVIP

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MEMS麦克风基本知识

目录

MEMS麦克风概述..........................................3

1.1MEMS麦克风定义.........................................3

1.2MEMS麦克风发展历程.....................................4

1.3MEMS麦克风应用领域.....................................5

MEMS麦克风工作原理......................................6

2.1微机电系统技术简介.....................................7

2.2麦克风基本原理.........................................8

2.3MEMS麦克风结构设计.....................................9

MEMS麦克风主要类型.....................................11

3.1动圈式MEMS麦克风......................................11

3.2动电容式MEMS麦克风....................................13

3.3压电式MEMS麦克风......................................14

3.4振动式MEMS麦克风......................................15

MEMS麦克风关键性能指标.................................16

4.1频率响应..............................................17

4.2信噪比................................................18

4.3噪声温度..............................................19

4.4声级灵敏度............................................21

4.5额定功率..............................................21

MEMS麦克风设计要点.....................................22

5.1麦克风结构设计........................................23

5.2滤波器设计............................................25

5.3封装工艺..............................................27

5.4抗干扰设计............................................28

MEMS麦克风制造工艺.....................................30

6.1光刻技术..............................................31

6.2刻蚀技术..............................................32

6.3形成工艺..............................................33

6.4封装技术..............................................34

MEMS麦克风应用案例分析.................................35

7.1智能手机麦克风........................................36

7.2无线通信麦克风........................................38

7.3音频播放设备麦克风....................................40

7.4汽车音响麦克风........................................41

MEMS麦克风发展趋势.....................................42

8.1小型化与集成化........................................43

8.2高性能与低功耗.....................

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