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MEMS麦克风基本知识
目录
MEMS麦克风概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1MEMS麦克风定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.2MEMS麦克风发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.3MEMS麦克风应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
MEMS麦克风工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
2.1微机电系统技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
2.2麦克风基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
2.3MEMS麦克风结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
MEMS麦克风主要类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
3.1动圈式MEMS麦克风．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
3.2动电容式MEMS麦克风．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
3.3压电式MEMS麦克风．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
3.4振动式MEMS麦克风．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
MEMS麦克风关键性能指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
4.1频率响应．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
4.2信噪比．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
4.3噪声温度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
4.4声级灵敏度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
4.5额定功率．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
MEMS麦克风设计要点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
5.1麦克风结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
5.2滤波器设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
5.3封装工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
5.4抗干扰设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
MEMS麦克风制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
6.1光刻技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
6.2刻蚀技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
6.3形成工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
6.4封装技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
MEMS麦克风应用案例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
7.1智能手机麦克风．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
7.2无线通信麦克风．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
7.3音频播放设备麦克风．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
7.4汽车音响麦克风．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
MEMS麦克风发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
8.1小型化与集成化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
8.2高性能与低功耗．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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