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MEMS麦克风基本知识
目录
MEMS麦克风概述..........................................3
1.1MEMS麦克风定义.........................................3
1.2MEMS麦克风发展历程.....................................4
1.3MEMS麦克风应用领域.....................................5
MEMS麦克风工作原理......................................6
2.1微机电系统技术简介.....................................7
2.2麦克风基本原理.........................................8
2.3MEMS麦克风结构设计.....................................9
MEMS麦克风主要类型.....................................11
3.1动圈式MEMS麦克风......................................11
3.2动电容式MEMS麦克风....................................13
3.3压电式MEMS麦克风......................................14
3.4振动式MEMS麦克风......................................15
MEMS麦克风关键性能指标.................................16
4.1频率响应..............................................17
4.2信噪比................................................18
4.3噪声温度..............................................19
4.4声级灵敏度............................................21
4.5额定功率..............................................21
MEMS麦克风设计要点.....................................22
5.1麦克风结构设计........................................23
5.2滤波器设计............................................25
5.3封装工艺..............................................27
5.4抗干扰设计............................................28
MEMS麦克风制造工艺.....................................30
6.1光刻技术..............................................31
6.2刻蚀技术..............................................32
6.3形成工艺..............................................33
6.4封装技术..............................................34
MEMS麦克风应用案例分析.................................35
7.1智能手机麦克风........................................36
7.2无线通信麦克风........................................38
7.3音频播放设备麦克风....................................40
7.4汽车音响麦克风........................................41
MEMS麦克风发展趋势.....................................42
8.1小型化与集成化........................................43
8.2高性能与低功耗.....................
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