《金相分析基础》——课件：电子光学基础知识.pptxVIP

金相分析基础电子显微分析——电子光学基础知识

光学显微镜观察金相组织，放大倍数小于2000倍，很多组织中的片层结构、针状结构、第二相、共晶体等很难清楚的观测到。1932年由德国研制出第一台电子显微镜（电镜），1939年西门子公司生产第一台商品电镜，之后普遍使用。扫光描学电金断显子相裂微显组形镜微织貌镜

一、电子的波长光学显微镜：可见光电子显微镜：电子束光源e?e?e?e??e?e

一、电子的波长质量m的电子，以速度v作匀速运动时，相当于一列波在传播波长λ=h/mv（1）（h—普朗克常数6.63×10-34J?S）当vc时，m=m（m=9.1×10kg）-310012???0初速为0的电子，在加速电压U的作用下，获得速度v，2??=????=02（2）（e=1.6×10-19C）

一、电子的波长?15012.25（2）带入（1）得，?===?2?0???加速电压越高，电子波长越短。常用U=50～100kV，λ约为可见光的十万分之一。由d=λ/2NA，当NA一定时，λ越短，分辨率越高。

二、电磁透镜e?e??e?e电子透镜e??e=e?试样

二、电磁透镜电子透镜：利用电场或磁场作用使电子改变运动方向。静电透镜电子透镜恒磁透镜电磁透镜磁透镜

二、电磁透镜电荷在磁场中运动时，将受到磁场力的作用，磁场对运动电荷的作用力称为洛伦兹力。不受磁场力，大小、运动方向不变受磁场力，不改变速度只改变方向，?均匀磁场中?∥?,??⊥?,圆周运动二者之间，螺旋运动1、直线运动。2、匀速圆周运动。

二、电磁透镜电荷在磁场中运动时，将受到磁场力的作用，磁场对运动电荷的作用力称为洛伦兹力。3、粒子运动方向与磁场有一夹角（大于0度小于90度）轨迹为螺线。在均匀磁场中，不可能将电子束进行聚焦。

二、电磁透镜电子显微镜中都采用非均匀弯曲磁场聚焦。短线圈磁力线能产生对称非均匀磁场的磁极装置称为磁透镜。

二、电磁透镜电磁透镜是一个轴对称的电磁铁。电子在磁场作用下作圆锥螺旋运动，会聚成一点。电子的圆锥螺旋运动磁场越强，透镜对电子束会聚能力越强，焦距越短，放大倍数越高。

二、电磁透镜111????由+=，得M==1.放大倍数?????当像距v一定时，焦距f越小，放大倍数M越大。????2Ur——加速电压k——常数（0）焦距?=?I——通过电磁线圈的电流强度N——线圈匝数可知f0，故电磁透镜总是会聚透镜。电磁透镜可任意改变焦距，优于光学透镜。

二、电磁透镜02.像差：球差、像散、色差。球差：透镜磁场中，远轴区域比近轴区域磁场强（对电子束折射能力强，使电子不能会聚在同一像点）。像平面P’’入射电子束zP’P最小散焦斑a)球差

二、电磁透镜02.像差：球差、像散、色差。A面B面像散：透镜加工不精zPBPPA确，使磁场不对称。A面与B面正交b)像散

二、电磁透镜02.像差：球差、像散、色差。E电子轨迹入射电子束色差：成像电子波长zP’P像平面Ⅰ（或能量）不同。E-ΔE电子轨迹像平面Ⅱc)色差

二、电磁透镜02.像差：球差、像散、色差。电子束能量变化原因：）加速电压不稳定；稳定加速电压12）电子束照射到样品上有能量损失。试样做薄一般来说，样品越厚，能量损失越大，色差越严重。

二、电磁透镜02.像差：球差、像散、色差。电磁透镜的像差只能适当的补偿校正，不能完全的消除。即使如此，也能呈现出高放大倍数下的高清显微照片。“金无足赤，人无完人”，淡然面对自身的不足，怀着积极的心态，奋力拼搏，做一个接近“完人”的人！

二、电磁透镜03.分辨率?由如像差校正完全，d≈λ/2。?=2??电磁透镜理论分辨距离可达0.002nm，但由于电磁透镜不能有效校正像差，故只能达到0.2nm。

二、电磁透镜04.景深和焦长景深：保持像清晰度的情况下，物平面可沿轴向移动的距离。孔径角小，景深大。焦长：保持像清晰度的情况下，像平面可沿轴向移动的距离。孔径角小，焦长大。电磁透镜比光学透镜的景深更大，焦长更长。

电子束做照明源，提高分辨率。加速电压电子波长分辨率电子的波长电子透镜电子光学基础知识总结电磁透镜的聚焦作用特性：放大倍数和像差分辨率景深和焦长

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