精密工作台概述.pptVIP

一、精密工作台概述①加工或测量时承载被测零部件的平台。②能够实现一个或多个方向的运动。③在各个方向上的运动是独立的1、工作台的定义工作台的分类按工作台所实现运动轨迹在空间的位置来分，有一维工作台，二维工作台，三维工作台，甚至到六自由度精密工作台的组成和分类精密工作台的用途．光刻机.精密测量.生物芯片技术．数控加工精密工作台是集精密位置检测技术、驱动技术、直线导向技术、控制技术等多项技术为一体的有机综合体。在这些技术中，如果某一个方面得到改进或提高，将使精密工作台整体性能得到提高。21微纳米加工技术的发展，离不开精密工作台技术的发展和进步。在材料、测量技术、驱动技术、控制技术等方面有了长足的进步，使工作台朝高精度、高速度、大行程的方向发展。主要表现在精度、速度和行程等方面。3二、精密工作台技术的发展概况材料测量手段主要有光栅测量和激光干涉仪测量。目前光栅测量的分辨率可达到纳米量级，测量精度为土0.01um，测量范围为100mm。可实现非接触测量。010302测量技术驱动技术直接决定了工作台的速度、精度、行程和整个设备的效率。驱动技术有间接驱动和直接驱动两种方式。01间接驱动方式是驱动元件通过传动机构驱动工作台。这种方式存在的缺点是：传动链较长，系统结构复杂，附加惯量大，刚度低，而且零部件的弹性变形会影响精度，此外，由于摩擦磨损将导致精度渐变等。02驱动元件常采用直流伺服电机、交流伺服电机，有时也采用步进电机。03驱动技术直接驱动方式：即利用电机直接驱动工作台，取消电机到工作台之间的传动环节，使传动链缩短为零，实现“零传动”。与间接驱动方式相比，直接驱动方式更易于实现高速度和高加速度的运动，同时再配合高精度的导轨就可以实现亚微米和纳米级的定位精度。直接驱动元件有：直流无刷力矩电机、电磁式直线电机和压电直线电机。导轨在工作台中起着承载和导向的作用，决定着工作台的导向精度、运动轨迹，直接影响着设备的作图精度。常用的导轨有滑动导轨、滚动导轨和静压导轨三种。此外，还有两种新型导轨：柔性铰链和悬浮导轨。直线导向技术计算机数字控制方式。控制系统主要由主控制系统、运动指令给定系统和位置伺服控制系统等组成。精密工作台的控制方式多采用闭环控制。控制技术三、精密工作台的结构型式平面单层式结构机械式气浮式①气浮式②双层结构大行程纳米级精密工作台的实现回转工作台的实现单击此处添加大标题内容