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多晶硅制取方式

一、改良西门子法

改良西门子法是目前应用最为广泛的多晶硅生产方法，其产能占总量的70%~80%。该方法的具体步骤如下：

三氯氢硅的合成：利用冶金硅（纯度要求在99.5%以上）与氯化氢（HCl）反应，合成便于提纯的三氯氢硅（SiHCl3）气体。

精馏提纯：将合成得到的三氯氢硅经过分离精馏提纯，去除杂质。

多晶硅沉积生成：将精馏后的三氯氢硅与氢气按一定比例混合，汽化进入多晶硅还原炉。在还原炉中，三氯氢硅被氢气还原为元素硅，沉积在硅芯表面，逐步生成一定规格尺寸的多晶硅棒。

尾气回收利用：还原反应生成的氯硅烷、氢气、氯化氢等经过分离后，可以分别回收利用，实现资源的高效利用。

改良西门子法的优点在于工艺成熟、应用广泛，且制备的多晶硅纯度较高，可用于CZ/FZ制备。然而，该方法也存在能耗高、副产品量较高、投资成本大等缺点。

二、硅烷法

硅烷法是通过硅烷在流化床中的裂解以及在多晶硅晶种上的沉积来生产多晶硅。该方法的具体步骤如下：

硅烷制备：硅烷的制备可以通过硅化镁法或歧化法完成。其中，歧化法使用冶金级工业硅、氯化硅和氢气为原料反应生成三氯氢硅，再经过歧化反应生成硅烷。硅烷制备成功后，进入反应炉热分解。

硅烷裂解：将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中，硅烷裂解并在晶种上沉积，从而得到颗粒状多晶硅。

产品处理：硅烷法生产的多晶硅需要进行进一步的提纯和干燥处理。

硅烷法的优点在于分解温度低、能耗低、产品纯度高。然而，硅烷成本高且易燃易爆，安全性较差，且整个过程需要反复加热冷却，能耗较高。因此，硅烷法的应用相对较少。

三、流化床法

流化床法制造多晶硅需要用到流化床反应器。该方法以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料，在流化床内（沸腾床）高温高压下合成三氯氢硅。然后，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅产品。

流化床法的优点在于生产效率高、电耗低、成本低，适用于大规模生产太阳能级多晶硅。然而，该方法也存在安全性差、危险性大以及产品纯度不高等缺点。

四、其他方法

除了上述三种主要方法外，还有一些其他方法用于生产多晶硅，如冶金法、硅石碳热还原法、电解法以及气液沉积法（VLD法）等。这些方法各有特点，但在实际应用中相对较少。