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半导体器件模拟及数值分析

李建军

第一章引言

1.什么叫半导体器件计算机模拟

2.为什么要学习本课程

3.怎样学好本课程

4.本课程的内容

5.参考书

6.考试方式

1.什么叫半导体器件计算机模拟

1．1定义

半导体器件的数值模拟是指这样的过程：对所研究的半导体器件建立或选用合适的物理模型，并对其抽象得到相应的数学表述，然后利用适当的数值方法开发计算机软件，并赋以器件的工艺、几何尺寸、电学方面的模型参数，进行计算机计算，得到器件的特性及其内部的物理图象。

1.什么叫半导体器件计算机模拟

1.2发展

?半导体器件模拟的概念起源于肖克莱（Shockley）1949年发表的论文，这篇文章奠定了结型二级管和晶体管的基础。但这是一种局部分析方法，不能分析大注入情况以及集电结的扩展。

?1964年，古默尔（H.K.Gummel）首先用数值方法代替解析方法模拟了一维双极晶体管，从而使半导体器件模拟向计算机化迈进。

?1969年，D．P．Kennedy和R.R.O’Brien第一个用二维数值方法研究了JFET。

?1969年，J．W．Slotboom用二维数值方法研究了晶体管的DC特性。

?从此以后，大量文章报导了二维数值分析在不同情况和不同器件中的应用。相应地也有各种成熟的模拟软件，如CADDET和MINIMOS等。

1.什么叫半导体器件计算机模拟

1.3分类

表1.1半导体器件计算机模拟分类

类别

MOS器件

双极型器件

GaAsMESFET

传感器件及其它

基本模型方程

泊松方程、电流连续性方程或玻尔兹曼方程

泊松方程、电流连续性方程

泊松方程、电流连续性方程或玻尔兹曼方程

麦克斯韦方程组、电流连续性方程以及其它模型方程

维数

1-3维

1-3维

1-2维

1-2维

数值处理方法

有限元法、有限差分法或蒙特卡罗法

有限元法、有限差分法

有限元法、有限差分法或蒙特卡罗法

有限元法、有限差分法

非线性偏微分方程组求解方法

耦合方法、非耦合方法或粒子模拟方法

耦合方法、非耦合方法

耦合方法、非耦合方法或粒子模拟方法

耦合方法、非耦合方法

物理模型

经典模型或半经典模型

经典模型

经典模型或半经典模型

经典模型

1.什么叫半导体器件计算机模拟

蒙特卡罗方法小尺寸器件二维或三维模拟

蒙特卡罗方法

小尺寸器件

二维或三维模拟

半经典模型(波松方程、

玻尔兹曼方程)

器件模拟大电流耦合方法特征尺寸大于一定值小电流一维模拟二维模拟大尺寸器件有限元法有限差分法特征尺寸小于一定值

器件模拟

大电流

耦合方法

特征尺寸大于一定值

小电流

一维模拟

二维模拟

大尺寸器件

有限元法

有限差分法

经典模型(波松方程、连续性方程)

非耦合方法

图1.1各划分方法之间的内在联系

2.为什么要习本课程

2．1器件研制的周期性和效益性（CAD）

图1.2传统的器件试制过程图

图1.2传统的器件试制过程

2.为什么要学习本课程

2．1器件研制的周期性和效益性（CAD）

图1.4器件模型化的概念

2.为什么要学习本课程

2．2器件结构的复杂性（CAA）

随着半导体工艺的飞速发展，器件尺寸越来越小，器件的二维和三维效应已非常明显，同时各种新结构器件也不断出现。现在，用传统的解析方法已不能准确分析器件的特性，而必须采用数值方法。通过数值模拟不但可以得到器件的外部特性，同时可以显示器件内部的物理图象，从而加深对器件的理解和分析。

3.怎样学好本课程

3．1理论学习

半导体物理，半导体器件物理，量子阱，半导体激光器数值分析

3．2上机实践

FORTRAN语言，C语言，MATLAB语言

3．3理论计算与实际器件相结合

4.本课程的内容

4．1双极器件的模拟

?一维PN结：稳态特性

?瞬态特性

?一维晶体管：稳态特性

?频率特性

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