T CPIA 0059—2024 晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备.pdfVIP

ICS27.160

CCSL95

团体标准

T/CPIA0059—2024

晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备

Lowpressurechemicalvapordepositionequipmentusedforcrystalline

siliconphotovoltaiccells

2024-03-10发布2024-03-15实施

中国光伏行业协会  发布

T/CPIA0059—2024

目次

前言III

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4工作环境2

5技术要求2

5.1外观及结构要求2

5.2基本性能2

5.3工艺运行自动化控制3

5.4安全要求3

5.5可靠性3

5.6噪声3

5.7电磁兼容性3

6检验方法3

6.1检验设备及仪器3

6.2外观及结构检查4

6.3基本性能检测4

6.4工艺运行自动化控制检验6

6.5安全要求检测6

6.6可靠性检测6

6.7噪声检测6

6.8电磁兼容性检测6

7交付检验6

8标志、包装、搬运和运输、贮存7

8.1标志7

8.2包装8

8.3搬运和运输8

8.4储存8

I

T/CPIA0059—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国光伏行业协会标准化技术委员会提出。

本文件由中国光伏行业协会标准化技术委员会归口。

本文件起草单位：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司、无锡市检验检测认证研究院、中国电

子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、江苏协鑫硅

材料科技发展有限公司、嘉兴阿特斯技术研究院有限公司、一道新能源科技股份有限公司、正泰新能科

技有限公司、晶澳太阳能科技有限公司、英利能源发展有限公司、常州大学（江苏省光伏科学与工程协

同创新中心）、扬州大学、国信认证无锡有限公司、宁夏国信检研科技有限公司。

本文件主要起草人：罗伟斌、张勇、恽旻、吴晓丽、王赶强、孙朋涛、吴志明、王晨光、杨宝立、

苏磊、李硕、章康平、甘曌、王建勃、马红娜、袁宁一、李绿洲、钦卫国、王炳楠。

III

T/CPIA0059—2024

晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备

1范围

本文件规定了晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备（以下简称“LPCVD设备”）的术语和定义、

工作环境、技术要求、基本性能、检验方法、交付检验以及标志、包装、搬运和运输、贮存。

本文件适用于晶体硅光伏电池用管式LPCVD设备的生产及检验。其他类型LPCVD设备可参考使用。

LPCVD设备可进行隧穿氧化层、本征多晶硅（Poly