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考虑尺寸效应的针尖轨迹运动加工亚波长光栅结构的工艺研究

一、引言

在纳米尺度的精密加工领域，亚波长光栅结构的制造技术一直是科研与工业界关注的焦点。随着科技的发展，针尖轨迹运动加工技术以其高精度、高效率的特点，在亚波长光栅结构的制造中发挥着越来越重要的作用。然而，尺寸效应的影响使得这一领域的工艺研究变得复杂。本文旨在研究考虑尺寸效应的针尖轨迹运动加工亚波长光栅结构的工艺，以期为相关研究提供理论支持和实践指导。

二、针尖轨迹运动加工技术概述

针尖轨迹运动加工技术是一种利用精密机械装置驱动针尖进行轨迹运动的加工技术。通过精确控制针尖的运动轨迹，可以实现高精度的纳米尺度加工。该技术具有高精度、高效率、