基于COMSOL的电化学地震检波器频率特性数值仿真模型.docxVIP

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2025-02-19 发布于山东
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12传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies)2019年第38卷第4期

DOI:10.13873/J.1000—9787(2019)04—0012—03

基于COMSOL的电化学地震检波器频率特性数值仿真模型*陈德勇1,2,陈连宏1,2,孙振源3,李光磊1,2,王军波1,2,陈健1,2

(1.中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室，北京100190;2.中国科学院大学，北京100039;3.清华大学自动化系，北京100084)

摘要：提出了一种可以精确求解电化学地震检波器传递函数的数值仿真模型，并首次采用流固耦合物理场来将外界振动与内部电解质溶液的运动形态联系在一起。通过规范的实验方法，对涉及到的部分仿真参数进行实际测试，使得仿真模型与实际情况更加吻合，仿真结果中的幅频响应曲线与实测结果相关度达到了0.97。基于该模型，讨论了电极上小孔个数对设备幅频响应曲线的影响，通过优化小孔个数，最终在未施加反馈的情况下，将工作带宽扩展至0.14~100Hz。

关键词：电化学地震检波器；数值仿真；频率特性；微机电系统；带宽

中图分类号：TP212.1文献标识码：A文章编号：1000—9787(2019)04—0012—03

Numericalsimulationmodelforfrequencycharateristicsof

*electrochemicalseismometerbasedonCOMSOL

CHENDe-yong1,2,CHENLian-hong1,2,SUNZhen-yuan3,LIGuang-lei1,2,WANGJun-bo1,2,CHENJian1,2(1.StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology,InstituteofElectronics,ChineseAcademyofSciences,

Beijing100190,China;2.UniversityofChineseAcademyofSciences,Beijing100039,China;

3.DepartmentofAutomation,TsinghuaUniversity,Beijing100084,China)

Abstract：Anumericalsimulationmodelforaccuratelysolvetransferfunctionofelectrochemicalseismometerispresented.Thefluid-solidcouplingphysicalfieldisfirstlyusedtolinktheexternalvibrationswiththemotionmorphologyofinternalelectrolytesolution.Somesimulationparametersaretestbynormativeexperimentalmethodtomakethesimulationmodelandphysicaltruthcoincide.Relevancyofamplitudefrequencyresponsecurveleadinginsimulationandmeasuredresultsis0.97,basedonthenumericalmodel,theeffectofthenumberofelectrodeporesonamplitudefrequencyresponsecurveisdiscussed.Byoptimizingnumberofpores,atlast,theworkingbandwidthisextendedto0.14~100Hzwithoutexertingfeedback.

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