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背面透射加强=反射减弱,于是有在可见光范围内(7700?~3900?)的解为k=1,…k=2,?=5054?绿色k=3,...7600?×1.33=两个不平行平面的分振幅干涉第六节楔形平板产生的干涉(等厚干涉)SPb)SPa)图3.42用扩展光源时楔行平板产生的定域条纹a)定域面在板上方b)定域面在板内c)定域面在板下方SPc)1.定域面的位置和定域深度点光源照明产生非定域干涉扩展光源照明产生定域干涉由作图确定定域深度干涉条纹不只局限在定域面,在定域面附近的区域里也能看到干涉条纹,这一定的区域深度称为定域深度定域深度的大小与光源宽度成反比光源为点光源时,定域深度无限大,干涉变为非定域的用眼睛直接观察比成像仪器进行观察更容易找到干涉条纹原因人眼的瞳孔比一般透镜的孔径小许多,结果定域深度增大眼睛瞳孔对光束的限制图3.44楔形平板的干涉θ2ACSPBβ=0θ1nn?n?2、光程差计算板厚度很小,楔角不大用平行平板的公式近似前提:结果:假设:楔形平板的折射率是均匀的,光束的入射角为常数结论:干涉条纹与平板上厚度相同点的轨迹(等厚线)相对应,这种条纹称为等厚条纹它是厚度h的函数,在同一厚度的位置形成同一级条纹。ll3、实验装置当平板很薄,定域区域在薄板表面,可直接观察,如水面上的油膜,肥皂泡等薄膜透镜L2的作用,在成像面上观察对于厚度较大的平板采用如图所示的装置垂直入射时的光程差定域面对于折射率均匀的楔形平板,条纹平行于楔棱Dh0102相邻条纹03相邻两亮纹或暗纹对应的光程差之差都为l,所以从一个条纹过渡到另一个条纹,平板的厚度改变04(3)条纹间距(4)a(5)与楔角成反比与波长成正比干涉条纹分布的特点:eekek+1明纹暗纹劈棱(适于平行光垂直入射)(1).当有半波损失时,在劈棱处为暗纹,否则为一亮纹;(2).干涉条纹是平行于棱边的直条纹(3).相邻明(暗)纹间距(4).楔角愈小,干涉条纹分布就愈稀疏(二).等厚条纹的应用测细小直径、厚度、微小变化Δh待测块规λ标准块规平晶测表面不平度等厚条纹待测工件平晶1.劈尖的应用(1)检测待测平面的平整度由于同一条纹下的空气薄膜厚度相同,当待测平面上出现沟槽时条纹向左弯曲。待测平面光学平板玻璃(2).测量微小物体的厚度例如用波长为589.3nm的钠黄光垂直照射长L=20mm的空气劈尖,测得条纹间距为由将微小物体夹在两薄玻璃片间,形成劈尖,用单色平行光照射。有例题折射率为n=1.60的两块平面玻璃板之间形成一空气劈尖,用波长λ=600nm的单色光垂直照射,产生等厚干涉条纹,若在劈尖内充满n=1.40的液体,相邻明纹间距缩小Δl=0.5mm,求劈尖角θ。解:设空气劈尖时相邻明纹间距为e1,液体劈尖时相邻明纹间距为e2,由间距公式(3).测量微小角度.例题在检测某工件表面平整度时,在工件上放一标准平面玻璃,使其间形成一空气劈尖,并观察到弯曲的干涉条纹,如图所示。求纹路深度H。解若工件表面是平的,等厚条纹应为平行于棱边的直线条纹。由于一条条纹对应一个厚度,由图的纹路弯曲情况可知,工件表面的纹路是凹下去的。Hla?工件标准平面由图:?=H/a因:l?=?/2,所以纹路深度例题2-19制造半导体元件时,常常需要精确地测量硅片上的二氧化硅(SiO2)薄膜的厚度,这时可用化学方法把二氧化硅薄膜一部分腐蚀掉,使它成为劈尖状。已知SiO2和Si的折射率分别为n2=1.57和n3=3.42,所用波长为?=6000?,观察到劈尖上共出现8条暗纹,且第八条暗纹恰好出现在斜面的最高点。求SiO2薄膜的厚度。解:由薄膜公式,得:(此时尖顶处是亮纹)取m=8,得SiO2e1.573.42Si(三)牛顿环logoS如图所示,在一块平面玻璃上放置一曲率半径R很大的平凸透镜,在透镜凸表面和玻璃板的平面之间便形成一厚度由零逐渐增大的空气薄层。(三)牛顿环白光入射的牛顿环照片当以单色光垂直照射时,在空气层上会形成一组以接触点O为中心的中央疏、边缘密的圆环条纹,称为牛顿环。它的形状与等倾圆条纹相同,但牛顿环内圈的干涉级次小,外圈的干涉级次大,恰与等倾圆条纹相反。1若由中心向外数第N个暗环的半
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