传感器原理及项目实战 课件 项目4-力和压力检测.pptx

项目4力和压力检测;4.1认识力和压力传感器

4.2力敏压力传感器应用实训

4.3气体压力芯片应用实训

4.4思考与练习;;通过学习，了解各种力及压力传感器的工作原理，了解力及压力传感器的使用方法。;认识力和压力传感器;;1.金属应变片

1）工作原理

一段长为l，截面积为S，电阻率为ρ的导体(如金属丝)，在其未受力时，原始电阻值为:

当金属丝受到拉力F作用时，金属丝的长度和截面积都发生了变化，从而引起电阻的变化，当金属丝受到拉力时，电阻变大，当金属丝受到压力时，电阻变小。;2）结构

金属电阻应变片主要由敏感栅、基片、覆盖层、引出线构成。

;敏感栅：应变片的核心是敏感栅，由某种金属或金属箔绕成栅形，粘贴在基体上，通过基体将应变传递给它，敏感栅将感受到的应变转换为阻值的变化。

金属箔式应变片的敏感栅是由很薄的金属箔片用光刻、腐蚀等技术制作而成的，箔栅厚度一般在0.003~0.01mm范围内。与丝式应变片相比，箔式电阻应变片的电阻值分散度小，可做成任意形状，易于大量生产，成本低，散热性好，允许通过大的电流，灵敏度高，耐蠕变和耐漂移能力强。应用范围日益扩大，已逐渐取代丝式应变片而占据主要地位。

薄膜应变片的敏感栅是采用真空镀膜技术在很薄的绝缘基底上蒸镀金属电阻材料薄膜，再加上保护层形成的。其优点是灵敏度高，允许通过大的电流。;基体与保护层：基体用于固定敏感栅并使敏感栅与试件绝缘，保护层既保护敏感栅、引出线的形状位置，还可以保护敏感栅。基体、保护层均由专门的薄纸制成，基体的厚度一般为：0.02~0.04mm。

引出线：它是应变片敏感栅中引出的细金属线，大多数敏感栅材料都可以制成引线，引出线焊接在敏感栅两端，作连接测量导线之用。

黏合剂：用黏合剂将敏感栅固定在基体上，并将保护层与基体贴在一起。

;3）金属应变式传感器的类型

金属应变片根据敏感栅的形状又可分为箔式、丝式、薄膜式金属应变片，如下图所示，图（a）为圆角丝栅，其横向应变会引起较大测量误差，但耐疲劳性好，一般用于动态测量。图（b）为直角丝栅，精度高，但???疲劳性差，适用于静态测量。箔式金属应变片的丝栅形状可与应力分布相适应，制成各种专用应变片，图（c）为应变片式扭矩传感器专用应变片，图（d）为板式压力传感器专用应变片。

;2.半导体应变片

1）工作原理

半导体材料在受到压力时，不仅在机械上会发生形状改变，它的电阻率也会发生变化，最终使其电阻值发生更大的变化，这种效应称为压阻效应。半导体应变片是用半导体材料制成的，其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。

当力作用于硅晶体时，晶体的晶格产生变形，使载流子从一个能谷向另一个能谷散射，引起载流子的迁移率发生变化，扰动了载流子纵向和横向的平均量，从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向不同而异，因此硅的压阻效应与晶体的取向有关。

;半导体材料导电体的电阻值和金属一样，也和长度l、截面积S及电阻率ρ有关，但是硅的压阻效应不同于金属，前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化，后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化，而且前者的灵敏度比后者大50～100倍。;2）特点

半导体应变片是利用半导体材料硅的压阻效应制成的传感器，具有灵敏度高、横向效应小、动态响应快、测量精度高、稳定性好、工作温度范围宽、易于小型与微型化、便于批量生产与使用方便等特点。因此，它是一种发展迅速，应用广泛的新型传感器。但它有温度系数大，应变时非线性关系比较严重等缺点。;3）类型

半导体应变片的类型分为体型、薄膜型、扩散型、外延型等。

体型半导体电阻应变片，将单晶硅锭通过切片、研磨、腐蚀压焊引线，最后粘贴在锌酚醛树脂或聚酰亚胺的衬底上制成的。上图为半导体电阻应变片的结构。

薄膜型半导体电阻应变片，利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上或蓝宝石上制成。它通过改变真空沉积时衬底的温度来控制沉积层电阻率的高低，从而控制电阻温度系数和灵敏度系数，因而能制造出适于不同试件材料的温度自补偿薄膜应变片。薄膜型半导体电阻应变片吸收了金属应变片和半导体应变片的优点，并避免了它的缺点，是一种较理想的应变片。

;扩散硅型半导体电阻应变片，将P型杂质扩散到一个高阻N型硅基底上，形成一层极薄的P型导电层，然后用超声波或热压焊法焊接引线而制成。它的优点是稳定性好，机械滞后和蠕变小，电阻温度系数也比一般体型半导体应变片小一个数量级。缺点是由于存在P-N结，当温度升高时，绝缘电阻大为下降。新型固态压阻式传感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用扩散硅制成的。

外延型半导体电阻应变片，在多晶硅或蓝宝石的衬底上外延一层单晶硅而制成的。它的优点是取消了P-N结隔离