传感器原理及项目实战 课件 项目5-敏感气体检测.pptx

项目5敏感气体检测;0.1认识敏感气体传感器

0.2酒精传感器应用应用实训

0.3可燃气体传感器应用实训

0.4思考与练习;;通过学习，掌握气敏传感器的工作原理，熟悉气敏传感器的特性和分类、熟悉气体传感器的结构和使用方法。

;认识敏感气体传感器;;5.1.1半导体气敏传感器

1.半导体气敏传感器的工作原理

半导体气敏元件的敏感部分是金属氧化物微结晶粒子烧结体，当它的表面吸附有被测气体时，半导体微结晶粒子接触界面的导电电子比例就会发生变化，从而使气敏元件的电阻值随着被测气体的浓度改变而改变。电阻值的变化是伴随着金属氧化物半导体表面对气体吸附和释放而产生的，为了加速这种反应，通常要用加热器对气敏元件加热。

半导体气敏元件有N型和P型之分，被测气体也可分为氧化型气体和还原型气体，如氧气等具有负离子吸附倾向的气体，被称为氧化型气体—电子接收性气体。

;当氧化型气体吸附到N型半导体上，半导体的载流子减少，电阻率上升；当氧化型气体吸附到P型半导体上，半导体的载流子增多，电阻率下降。氢、碳氧化合物、醇类等具有正离子吸附倾向的气体，被称为还原型气体—电子供给性气体。当还原型气体吸附到N型半导体上，半导体的载流子增多，电阻率下降；当还原型气体吸附到P型半导体上，半导体的载流子减少，电阻率上升。图5-2给出了N型半导体材料SnO2吸附气体时氧化还原反应及电阻值变化的情况。需要说明的是，气敏元件在工作时都需要加热，其目的是加速气体吸附、脱出的过程，清洁传感器并提高灵敏度等。;当SnO2气敏传感器在洁净的空气中开始通电加热时，其电阻值急剧下降，随着温度的上升，SnO2吸附空气中的氧形成负离子吸附，其电阻值增加，最后电阻值逐渐趋于稳定，这个过程一般需要2~10分钟。当气敏元件的阻值处于稳定值后，阻值会随被测气体的吸附情况而发生变化，其阻值的变化规律视气体的性质而定，如果被测气体是氧化性气体（如O2），被吸附气体分子从气敏元件得到电子，使N型半导体中的载流子电子减少，因而电阻值增大。如图5-2中虚线所示。若被??气体为还原性可燃性气体（如H2、CO、酒精等），原来吸附的氧脱附，而由可燃性气体以正离子状态吸附在金属氧化物半导体表面，氧脱附时放出电子，可燃性气体以正离子状态吸附也要放出电子，从而使氧化物半导体导带电子密度增加，电阻值下降。若可燃性气体不存在了，金属氧化物半导体又会自动恢复氧的负离子吸附，使电阻值升高到初始状态。;2.半导体气敏传感器的结构

半导体气敏传感器的敏感部分是金属氧化物微结晶粒子烧结体，其制作是将一定配比的敏感材料氧化锌（SnO2）、氧化铟（InO）及掺杂剂铂（Pt）、铅（Pb）等以水或粘合剂调和，经研磨后使其均匀混合，然后将已均匀混合的膏状物滴入模具内，用传统的制陶方法进行烧结。烧结时埋入加热丝和测量电极，最后将加热丝和测量电极焊在座上，加特制外壳构成器件。这种器件一般分为内热式和旁热式两种结构。;内热式器件管芯体积一般都很小，加热丝直接埋在金属氧化物半导体材料内，兼作一个测量电极，该结构制造工艺简单。其缺点是热容量小，易受环境气流的影响；测量电路和加热电路之间相互影响；加热丝在加热和不加热状态下产生胀、缩，容易造成与材料接触不良的现象。;旁热式气敏器件的管芯是在陶瓷管内放置高阻加热丝，在瓷管外涂梳状金电极，再在金电极外涂气敏半导体材料。这种结构形式克服了内热式器件的缺点，使器件稳定性有明显提高。;3.半导体气敏传感器的应用

半导体气敏传感器广泛应用于防灾报警，如可制成液化石油气、天然气、城市煤气、煤矿瓦斯以及有毒气体等方面的报警器，也可用于对大气污染进行监测，以及在医疗上用于对O2、CO2等气体的测量，生活中则可用于空调机、烹饪装置、酒精浓度探测等方面。从检测角度来说，气敏电阻对气体的种类、传感器的灵敏度没有大的差异。例如能感测出乙醇的传感器，也能感测出氢气和一氧化碳的含量。通过改变制造传感器元件时的半导体烧结温度、半导体中的掺杂物、加热器的加热温度等，并将这些方法结合起来应用，能使气敏传感器具有对各种气体的识别能力。;5.1.2接触燃烧式气敏传感器

1.接触燃烧式气敏传感器的工作原理

接触燃烧式气敏传感器的检测元件一般为铂金属丝(也可表面涂铂、钯等稀有金属催化层)，使用时对铂丝通以电流，保持300℃~400℃的高温，此时若与可燃性气体接触，可燃性气体就会在稀有金属催化层上燃烧，因此，铂丝的温度会上升，铂丝的电阻值也上升，通过测量铂丝的电阻值变化的大小，就知道可燃性气体的浓度。;2.接触燃烧式气体传感器的结构