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05篇先进制造技术第八单元超精密加工
教学目标：
1.了解超精密加工表面几何特征
2.了解超精密加工表面粗糙度的影响因素
教学重点和难点：
1.超精密加工表面几何特征
2.超精密加工表面粗糙度的影响因素
5.8.1超精密加工概述
超精密加工是一种能在纳米尺度上加工出高质量表面的加工技术。超精密加工是一个复杂的机械过程，任何一种加工参数和外部影响都有可能对加工工件的表面产生重大的性能改变。一般来说对加工质量产生影响的因素包括：加工刀具的参数，切削环境因素，刀具几何构造，外部环境影响，材料性能，切屑形貌特征，刀具抗磨损能力，机床振动反馈等因素。
超精密加工的加工精度在0.2μm以下，而表面粗糙
度控制在10nm以下。超精密加工设备的分辨率和可再现精度都控制在10nm以下。超精密加工在加工精度和加工粗糙度都是传统加工方式的100倍以上。
5.8.2超精密加工表面几何特征
在超精密加工的过程中表面的几何特征主要是由刀具和工件之间的相对作用与去除机理造成的。在图5-15中，在使用超精密加工的工件表面上可以看到诸如：刀痕、材料膨胀和回复、振动引起的波浪纹、材料堆叠、材料的起皱和微裂纹等现象。
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事明
图5-15起皱和微裂纹
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5.8.3超精密加工表面粗糙度的影响因素
虽然超精密加工可以在微观尺度加工出高精度的表面，但是任何因素的变动都可以在一定程度上影响超精密加工的表面粗糙度。如加工使用的机床，加工环境，刀具的几何外形，材料属性，切屑变形程度，刀具的磨损程度，机床振动，加工热变形等因素，可以在直接或间接很大程度上影响超精密加工零件的表面粗糙度。
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