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一、引言
1.1研究背景与意义
在现代光学技术飞速发展的时代,光学元件作为天文望远镜、激光惯性约束核聚变等诸多高端领域的核心部件,其性能优劣直接关乎整个光学系统的运行效果。天文望远镜需要依靠高精度的光学元件,捕捉来自遥远宇宙的微弱光线,为人类探索宇宙奥秘提供关键支持;而激光惯性约束核聚变则依赖光学元件对高能激光的精确调控,实现核聚变反应,为解决能源问题带来新的希望。
然而,传统的光学元件加工工艺,如磨削、研磨和抛光等过程,不可避免地会在光学元件表面和亚表面引入各种缺陷。这些亚表面缺陷,如裂纹、划痕、残余应力和夹杂物等,虽然在外观上难以察觉,但却对光学元件的性能产生着深远的影响。在高功率固体
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