电磁驱动微运动.ppt

第1页，共29页，星期日，2025年，2月5日什么是电磁驱动？电磁驱动式微动台是靠电磁力直接驱动的，通过控制线圈中电流的大小来控制电磁力的大小，从而带动工作台产生相应的精密微位移。由于电磁微动台是电磁驱动单元和并联机构相融合的产物，通过控制电磁驱动元件，可实现微动台的精密运动。由于磁力的非接触性，可以达到很高的精度。当在通电螺线管内部插入铁芯后，铁芯被通电螺线管的磁场磁化。磁化后的铁芯也变成了一个磁体，这样由于两个磁场互相叠加，从而使螺线管的磁性大大增强。为了使电磁铁的磁性更强，通常将铁芯制成蹄形。但要注意蹄形铁芯上线圈的绕向相反，一边顺时针，另一边必须逆时针。如果绕向相同，两线圈对铁芯的磁化作用将相互抵消，使铁芯不显磁性。另外，电磁铁的铁芯用软铁制做，而不能用钢制做。否则钢一旦被磁化后，将长期保持磁性而不能退磁，则其磁性的强弱就不能用电流的大小来控制，而失去电磁铁应有的优点。第2页，共29页，星期日，2025年，2月5日目前电磁驱动工作台按其工作维数可以分为如下：一维电磁微驱动装置：当中目前主要是利用基于洛仑兹力的音圈电机作为微动驱动器。音圈电机的行程为毫米级，闭环控制精度可以达到纳米级，非常适于小行程超精密运动驱动。二维电磁微驱动装置：主要是靠电磁驱动单元的组合驱动，平面支撑主要靠气浮或磁浮实现。类似于平面电机，但与平面电机有着本质的不同之处是，不存在明显的齿槽效应，该类型机构主要应用于芯片光刻机、光纤对接装置和精密光学仪器中。三维电磁微驱动装置：与二维机构的工作原理类似，其多自由度的运动是靠多个驱动单元共同作用完成，该机构在半导体加工、显微镜扫描、微装配和快速成型等领域有着重要的应用。第3页，共29页，星期日，2025年，2月5日电磁驱动应用实例圆形电磁驱动台第4页，共29页，星期日，2025年，2月5日磨床圆形强力电磁吸盘工作台第5页，共29页，星期日，2025年，2月5日新型电磁驱动器第6页，共29页，星期日，2025年，2月5日电感传感器的信号采集电路和基于AD698的电感传感器信号调理电路电磁微运动的实现方法第7页，共29页，星期日，2025年，2月5日电磁铁通电使铁芯磁化，吸引运动机构移动。运动机构的移动（运动范围0-5mm）改变了电感传感器的空气间隙从而改变电感值。电感值的变化会在信号处理电路上用输出电压表现出来。测得的电压变化量接入A/D转换片，转换后得到的数字量送入单片机处理并显示结果。这样就可以把电磁驱动铁芯的实际位移测量出来，将所要得到的位移与实际需要量进行比较后送PID控制部分根据得到的电压信号来判断实际位移量是否符合预想值并进行调节，精度为1微米。最后控制电磁铁的来对实际位移量来调节第8页，共29页，星期日，2025年，2月5日电磁铁的引力公式为式中B为电磁场磁通密度μ为导磁率S为磁极截面面积电磁铁引力：线圈电流与磁通密度关系为N为线圈的匝数ι为磁路长度μo磁性材料导磁率μ空气导磁率D为空气隙长度I为电流强度第9页，共29页，星期日，2025年，2月5日由于则改变电流后空气隙长度发生变化，衔铁发生移动从而实现了微位移运动第10页，共29页，星期日，2025年，2月5日磁致伸缩式微位移机构它的工作原理如图11所示。微动台用片簧支撑，在微动台的端部固定强磁体，它与磁致伸缩棒之间有一定的间隙，通过改变线圈中的电流强度，改变对工作台的吸引力，从而达到微位移的目的。其精度可达亚微米。该机构具有结构简单紧凑、重复精度高、无间隙、刚性好、传动惯量小、工作稳定性好等优点;但在磁场作用下伴有发热，故微动精度不高。它适用于精确位移调整、切削刀具的磨损补偿、温度变形补偿及自动调节系统等第11页，共29页，星期日，2025年，2月5日第12页，共29页，星期日，2025年，2月5日运动范围由公式工作台被磁铁吸引而移动的距离正比于（NI）的平方，当电流逐渐增大时气隙d就越来越小，磁通量增大吸引力也显著增大。当达到某一临界值时，工