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扫描电子显微术添加标题添加标题添加标题扫描电镜最新进展扫描电镜基本工作方式扫描电镜主要性能及基本结构在样品表面扫描振幅ASAC在阴极射线管上扫描振幅M=AC/AS分辨率D0D0=两亮区之间的最小暗间隙宽度/放大倍数放大倍数：取决于入射电子束在样品上的扫描振幅；分辨率：影响分辨率的主要因素（束斑直径，电子束扩展体积，操作方式，信噪比，样品)；扫描电镜主要性能电子枪01添加标题试样（导电）02添加标题信号探测器（电子检测器/X射线检测器）03添加标题信号放大处理系统04添加标题荧光屏（观察屏/记录屏）05添加标题同步扫描系统06添加标题扫描电子显微镜基本工作原理07添加标题仪器结构及关键部件电子光学系统：电子枪→热发射电子枪、场发射电子枪；会聚透镜→低像差物镜；扫描系统：扫描信号发生器、放大控制器、扫描线圈信号检测放大系统：电子检测器、X射线检测器像显示记录系统：荧光屏、照相机、打印机电源系统：稳压电路、控制电路、安全保护电路真空系统：常规二次电子探头结构：收集栅→闪烁器→光导管→光电倍增管；原理与结构缺陷：探头含裸露的高压元件→高真空环境；光电倍增管对光、热信号敏感→限制照明器、发热发光样品；绝缘试样荷电累积→特殊制样；非真实样品观察；电子枪普通钨灯丝LaB6灯丝→提高102钨单晶灯丝→提高105束斑0.5nm，单色性好扫描电子显微镜主要工作方式添加标题发射方式—二次电子像：表面形貌分析；添加标题反射方式—背散射电子像：形貌及表面元素分布状态；添加标题吸收方式—吸收电子像：形貌及表面元素分布状态；添加标题X射线方式—微区元素定性定量分析；添加标题阴极发光方式：光学显微镜观察或分光仪分析；表面形貌衬度原理ABCDE样品表面不同刻面二次电子信号强度荧光屏或照片亮度#ONE常规SEI观察样品的制备非金属样品多水样品粉末样品导电膜导电胶双面胶带样品桩乳白胶金属样品1A区2C区3B区4样品组成相原子序数差别大存在元素偏析样品表面平整（抛光处理）反射電子組成像
試料：鋳鉄
撮影倍率；×300反射電子凸凹像
試料：鋳鉄
撮影倍率；×300日本電子反射電子検出器の応用写真例环境扫描电镜—低真空扫描电镜LV-SEM场发射扫描高分辨扫描电镜超大试样室等应用型扫描电镜扫描电子显微镜最新进展多重限压光栏：将两个相距很近的限压光栏孔放入镜筒的最后一组透镜中使其合为一体；在孔之下、之间、之上分别抽气以提供一个压强逐渐变化的真空—样品室可低至5000Pa，而镜筒中可达10-3Pa或更高。由于光栏孔放置很近，减少了电子束通过高气压段的距离；环境二次电子探头：位于样品正上方；探头上施以数百伏的正电压→二次电子在探头电场中加速，并与样品室中气体分子碰撞、电离，产生额外的电子和正离子—加速、电离过程多次重复，使初始二次电子信号呈连续比例级数放大（省略光电倍增管）；探头采集这些信号并将其直接传送到电子放大器放大成像；
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