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智能薄膜材料一、智能材料的基本概念材料的发展和应用历史：材料科学的发展演化过程智能材料是继天然材料、人造材料、精细材料之后的第四代功能材料。智能材料定义：---(Intelligentmaterial，Smartmaterial)是一种能从自身的表层或内部获取关于环境条件及其变化的信息，并进行判断、处理和作出反应，以改变自身的结构与功能，并使之很好地与外界相协调的具有自适应性的材料系统。1具有感知功能，能够检测并且可以识别外界（或者内部）的刺激强度，如电、光、热、应力、应变、化学、核辐射等；2具有驱动功能，能够响应外界变化；3能够按照设定的方式选择和控制响应；4反应比较灵敏、及时和恰当；5当外部刺激消除后，能够迅速恢复到原始状态。智能材料需具备的内涵：STEP01STEP02智能材料必须具备感知、控制和驱动三个基本要素。智能材料一般由两种或两种以上的材料复合构成一个智能材料系统。智能材料的基本结构：智能材料不是一种单一的材料，而是一个由多种材料组元通过有机紧密复合或严格地科学组装而构成的材料系统，是一种智能机构。传感器执行器控制器智能机构材料自身能够探测到外部环境状态的变化能够自动地执行改变材料状态的指令能够对探测到的外部环境的变化作出判断，并给出相应的改变材料状态的指令具有形状记忆效应的金属，通常是由2种以上的金形状记忆合金的发现：形状记忆合金：属元素构成的合金，故称为形状记忆合金(ShapeMemoryAlloys，简称SMA)。20世纪60年代初，美国马里兰州海军军械研究所的科学家比勒，用镍钛合金丝做试验。这些合金丝弯弯曲曲，为了使用方便，他把这些合金丝弄直了。但是，当他无意中把合金丝靠近火的时候，奇迹发生了：已经弄直的合金丝居然完全恢复了它们原来弯弯曲曲的形状。单程形状记忆效应1双程形状记忆效应2全程形状记忆效应3形状记忆效应可分为3种类型：形状记忆效应机制示意图原子排列面的切应变结构相同，位相不同的马氏体变体界面移动，相互吞食变形前后M结构未变形状记忆合金晶体结构变化模型形状记忆合金的特性形状记忆效应高阻尼特性超弹性效应形状记忆合金特性弹性模量随温度变化特性电阻特性合金能记忆它在高温奥氏体下的形状，低温时的塑性变形通过高温加热恢复形状合金在外力作用下产生远大于其弹性极限应变量的应变，在卸载时这种应变得以自动恢复的现象处于马氏体奥氏体混合状态下的SMA阻尼性能最好，全马氏体态次之，全奥氏体状态阻尼性能最差电阻率随温度的变化而变化，温度达到马氏体逆变温度时电阻明显降低，降温至逆变温度时电阻明显升高。SMA在奥氏体态的弹性模量是马氏体态弹性模量的3倍以上，并且弹性模量随温度的改变而改变。二、Ti-Ni基形状记忆合金薄膜的制备和表征溅射沉积、真空蒸发沉积、激光熔融等已用于制备厚度大于10μm的NiTi形状记忆合金薄膜。其中溅射方法是获得完整形状记忆效应的主要方法。影响薄膜质量的主要溅射参数是射频功率、Ar气分压、基片-靶距离、基片温度和靶的合金组分。12在低Ar气分压下制得的NiTi膜较为平整，无任何结构特征面；在高Ar气分压下所得到的膜呈柱状结构。柱状结构表明膜是多孔的。这一结构可能是由于沉积原子在生长膜表面的迁移受到限制所致。在较高Ar气分压下，由于Ar离子间的碰撞而使被溅射出来的原子能量降低，导致其表面扩散能力的降低，而且在高Ar气分压下，吸附在膜表面的Ar离子会干扰Ti和Ni原子的表面扩散。有两种方法使溅射沉积的NiTi膜具有记忆形状：在室温溅射沉积NiTi膜，然后在733K左右的温度下使其结晶化；在基片温度高于623K的温度下溅射沉积NiTi膜。三形状记忆合金及薄膜的应用1.微动器：获得快速驱动利用Si基微机械加工技术和溅射沉积NiTi膜，人们已制造出原形微动器，它们包括弹簧、双梁悬臂、阀、镜面驱动器、隔膜、微夹具等等。