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真空泵与阀门.pdfVIP

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  • 2025-02-25 发布于湖北
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真空泵与阀门.pdf

    真空泵：

    一、概要：

    真空泵是获得真空的设备，根据自身极限真空的能力将真空泵分为低

    真空泵和高真空泵。表1.对常用真空泵进行了分类归纳。

    表1.常用真空泵的分类：

    分类极限真空应用

    卷泵（Scrollpump）7.5×10-3TorrCD-SEM

    油回转泵（Oilsealedrotarypump）7.5×10-5TorrII/SP

    位

    罗茨泵（rootsblower,rootspump）5×10-5TorrII/SP/Dry/CVD

    移

    气水环泵(waterringpump)5×10-3Tor

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