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文件名称
单晶炉石墨件及炉内清扫作业指导书
文件编号：
-001
版本/修改：
A01/00
Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进
PRODUCT产品：单晶硅棒
签名
隶属：单晶车间
日期
PAGE：第1页OF共2页
目的
规范石墨件及炉内的清扫工序
适用范围
适用于单晶炉的清扫工作
作业内容
一·石墨件的清扫
1、单晶炉需安装新的20英寸热场和石墨毡，其操作步骤详见《热场（石墨件）的清理和石墨毡包扎》工序；
2、石墨件必须在指定的清扫台进行清扫；
3、准备好清扫用品（毛刷、纸巾、吸尘器管、研磨布、除硅点的专有工具、放石墨件的洁净小
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