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(3)静电微泵四层结构。电极间一绝缘层。原理:电极泵膜与固定的电极间的静电作用产生驱动力。施加电压时,两电极间距变短,产生吸液动作,反之产生排液动作。特点:驱动频率远高于热气动微泵,脉动较小,流动平稳。需要施加很高的电压,泵压较低。静电微泵2.微阀的原理与加工技术功能:单向阀和切换阀;有无致动器:主动阀和被动阀。(1)主动阀原理:依靠致动器实现阀的开闭或切换操作。特点:动作可靠、阀密封性好;结构复杂,附加体积大,加工和集成化难度大等不足。热气动致动单向阀(2)被动阀特点:无需外动力,仅利用流体本身参数的变化(流动方向、流体压力)即可实现阀的状态改变。优点:具有易加工,集成度高。典型被动微阀结构:21.2.3微流控芯片中的各种特殊效应微通道的构型、表面性质无论是对流体控制还是对分析效果都产生重要影响。1.微通道构型与弯道效应弯道效应:试样带在经过微通道的转向区域时所产生的试样带附加(与直线通道相比)变宽的现象。产生原因:转向区域内流体的流动距离和电场强度因曲率半径的不同而存在着径向差异。降低方法:改变通道构型来实现。降低弯道效应的主要方法:改变通道构型(a)采用成对转向通道两转向区的弯道效应作用相反,可在一定程度上的相互补偿,但并不能完全消除。(b)缩小转向通道宽度,降低试样带变宽现象。(c)数学优化获得的构型。模拟计算结果表明弯道效应比传统构型小2~3个数量级。数学优化获得的构型效果对比2.微通道表面改性与多相层流实现复杂微流控操作:通过控制微通道表面性质。改性方法:涂覆改性;脉冲UV准分子激光器(KrF,248nm)照射,改变微通道内壁的表面电荷。多相层流控制:在一个通道内实现两个流向相反的流体同时流动的操作。电渗流的方向由通道壁上的电荷极性控制。实现了在一个通道内,在同一外加电压下,两个流向相反的液流同时流动的情况,也即多相层流。3.层流效应与分子扩散效应微通道:流体易形成层流状态,微流控系统的重要特性。流体中的惯性效应可以忽略,不产生流体内的对流作用(混合)。应用:试样前处理、无膜过滤、渗析、萃取、相间反应及液流切换等操作。问题:微尺度下如何实现流体的快速混合?在这种情况下,分子扩散成为粒子跨越流体界面的唯一方式。目前,微尺度下如何实现流体的快速混合的问题是一个重要的研究方向。层流效应的应用:无膜过滤与过滤例:血液预分离的多相层流系统以血液试样为一相流体,以水溶液为另一相流体(接受液)。此技术亦可进行较大离子(细胞或固体颗粒)与可溶性组分的分离,实现无膜过滤功能。血液中的小分子物质因扩散速度快于大分子物质,首先依靠扩散穿过两相界面进入接受液中,实现小分子与大分子的分离,实现无膜渗析的功能。层流效应的应用:微流体开关三相层流并行流动的状态。接触面很小,时间很短(小于秒级)时,可忽略混合效应。通过改变两载流的流速大小和相互比例,可控制试样流的宽度及其在通道中的位置。21.2.4微流控芯片中的进样技术电动进样:基于体积和时间两种1,2处悬浮(断开)问题:充样时,十字通道处扩散,降效;取样时,泄漏,干扰。无歧视现象。电动简单进样(十字进样方式)基于体积进样方式。进样技术1,2由悬浮改为接地;问题:充样时,十字通道处仍有扩散,降效;取样时,泄漏消除。2.“T”形通道进样基于时间进样方式试样体积:充样电压和时间决定。优点:简单,充样体积可调。缺点:有歧视现象;无废液通道,换样不便。3.门式进样“十”字交叉区,两液流互不干扰。进样量:控制充样电压和时间。优点:同时保持连续流动,分析同时快速换样。缺点:有歧视现象。基于时间进样方式4.双“T”形通道进样(基于体积进样)有更大的进样体积(调节双“T”通道间的距离),可改变进样量。体积进样的优点是消除了歧视现象且进样量固定。5.芯片进样过程中存在的问题泄漏效应:交汇口扩散效应和对流效应的存在会造成相互混合。夹流进样消除。通道堵塞:“横向过滤器”技术。通道网络(1.5×10μm
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