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实验室用气体分类与选型建议.pdfVIP

实验室用气体分类与选型建议.pdf

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    实验室用气体分类与选型建议

    A.1气体分类

    A.1.1常用惰性气体对照表见表A.1。

    表A.1常用惰性气体对照表

    种类气体中文化学式SEMI气体代码

    Nitrogen氮N213

    Argon氩Ar4

    Xenon氙Xe6

    Inerts惰性气体

    Helium氦He1

    Neon氖Ne2

    Krypton氪Kr5

    A.1.2碳氢化合物和卤化碳氢化合物对照表见表A.2。

    表A.2碳氢化合物和卤化碳氢化合物对照表

    种类气体中文化学式SEMI气体代码

    Methane甲烷CH428

    Ethane乙烷CH54

    26

    Dichloromethane二氯甲烷CHCl265

    22

    Difluoromethane二氟甲烷CHF160

    22

    MethylFluorid

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