1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 电子工程/通信技术
  5. 电子电气自动化
网站大量收购独家精品文档，联系QQ：2885784924

2025年MEMS传感器 _原创精品文档.pdfVIP

2025年MEMS传感器 _原创精品文档.pdf

    1. 1、本文档共16页，可阅读全部内容。
    2. 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
    3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
    4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
    5. 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
    6. 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
    7. 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
    8. 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
    查看更多

    操千曲尔后晓声，观千剑尔后识器。——刘勰

    目录

    引言１

    第一章MEMS技术概要２

    技术的发展２

    技术发展的浪潮２

    第二章MEMS传感器分类及典型应用３

    加速度计４

    压阻式微加速度计４

    电容式微加速度计４

    压电式微加速度计４

    微压力传感器.５

    陀螺５

    微气体传感６

    微温度传感器.６

    第三章国内外MEMS传感器的标准化目前概况６

    MEMS传感器标准化国内概况６

    MEMS传感器标准化国外概况７

    第四章对我国MEMS传感器标准发展对策的几点建议７

    推出我国自主创新的MEMS传感器标准７

    加强标准化工作的国际合作８

    加强MEMS传感器标准化工作管理８

    第五章总结８

    参考文献９

    致谢１０

    博学之，审问之，慎思之，明辨之，笃行之。——《礼记》

    摘要

    MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器,具有很多新的特性,相对传

    统传感器其具有更大的优势。MEMS

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    132****3217 + 关注
    实名认证
    文档贡献者

    该用户很懒，什么也没介绍

    咨询Ta 进入空间

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >