TCASMES 432-2024 X射线光电子能谱（ XPS）测试服务规范.docx

ICS17.180.30

CCSN33

团 体 标 准

T/CASMES432—2024

X射线光电子能谱（XPS）测试服务规范

SpecificationforX-rayphotoelectronspectroscopy(XPS)testingservices

2024-11-25发布 2024-12-01实施

中国中小企业协会 发布

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I

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II

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目 次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4基本要求 1

5服务流程 1

6服务质量管理 3

前 言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由杭州研趣信息技术有限公司提出。

本文件由中国中小企业协会归口。

本文件起草单位：杭州研趣信息技术有限公司、江苏集萃光电检测中心有限公司、常熟理工学院、季华实验室、南通默斯检测有限公司、北京理工大学重庆创新中心、青岛大学、哈工大郑州研究院、广东省科学院半导体研究所、哈尔滨工业大学。

本文件主要起草人：陈龙、朱旦、殷尧、殷文宇、周玉铎、顾坚、李亚丽、许红星、李文豪、王巧、杨磊。

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X射线光电子能谱（XPS）测试服务规范

范围

本文件规定了X射线光电子能谱（XPS）测试服务的基本要求、服务流程、服务质量管理。

本文件适用于科研机构、检测机构和企业实验室（以下简称“测试机构”）开展的X射线光电子能谱（XPS）测试服务。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T19012质量管理顾客满意组织投诉处理指南GB/T19038顾客满意测评模型和方法指南

GB/T19039顾客满意测评通则

GB/T33502表面化学分析X射线光电子能谱(XPS)数据记录与报告的规范要求

术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

基本要求

测试设备

测试使用的XPS设备应具备出厂合格证，并定期进行校准和维护。

应根据客户的测试需求选择具备测试能力的测试设备，设备的主要性能指标（如能量分辨率、真空度、能量分析范围等），应符合相应技术文件的要求。

测试环境

测试场所应保持卫生、清洁，避免灰尘和污染物对测试结果的影响。

测试场所相对湿度应控制在60%以下，温度控制在22℃～25℃。

测试场所应具备良好的通风条件，确保设备运行的安全性和稳定性。

测试人员

测试人员应具备相关的专业知识和操作技能，经过专业培训并取得相应资格证书。

测试人员应熟悉XPS设备的使用和维护，能独立完成样品制备、测试和数据分析工作。

服务流程

服务订单建立

测试机构应通过纸质预约单或电子表单确认客户的订单需求，并应有明确在法律上能够建立合同关系的订单确认行为。测试服务预约单应明确以下内容：

服务需求；

实验方案；

订单价格及收费方式信息等。

测试机构在与客户建立订单的过程中，应尽必要的提醒义务（如预约须知、注意事项、风险提示、限制性要求等信息），并在下单时核实客户的联系地址、电话、收货人等必要信息。

收费的项目应清晰明确，将以下内容明确告知客户：

服务收费的主要构成；

订单价格后续变更的情况以及处理方式；

订单的履约周期；

基本售后服务条款等。

测试样品接收、运输和保存

接收样品前应明确样品的状态、毒害性、存放要求，并选择合适的包装方式，有特殊存放要求的应明示。

样品接收时应进行初步检查，确认样品的状态和适用性，避免因样品问题导致的测试结果偏差。

根据状态的不同可将样品分为粉末状样品、块状和薄膜样品、液体样品、生物细胞类样品、特殊类样品等，应根据样品的类型选择合适的运输方式和保存方式。

样品制备

根据样品的性质和测试要求，选择合适的制样方法，确保样品制备过程的规范性和一致性。

不同类型样品制备要求如下：

粉末状样品：样品量一般不少于20mg，以压片能较好压实为宜，若颗粒较粗可适当研磨，含有磁性材料的样品应消磁处理；

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