基于腔内走离补偿实现高功率高光束质量355nm激光器的研究.pdf

摘要

高功率、高光束质量全固态355nm紫外激光器因其具有短波长、易聚焦、高能

量等特点，在众多领域得到广泛应用。而高功率、高光束质量355nm激光可以显著

提高激光加工精度。考虑到紫外波段和频晶体由于走离效应的存在，会直接影响355

nm紫外激光的光束形状，但是传统的走离补偿方案在高功率输出时并不适用，因此

我们开展了新型的基于腔内走离补偿实现高功率、高光束质量355nm激光器的研究

方案。主要研究内容包括：

1.本文从谐振腔设计出发，理论模拟计算了谐振腔内各参数，根据研究目的设计

了“Z”型折叠驻波腔结构。经声光调制，后当泵浦注入功率为96.8W时，谐振腔

基频光平均输出功率达到最大值，为45.7W，脉冲宽度为17.2ns，脉冲重复频率为

50kHz。

2.为了提高非线性晶体的耐用性，通过优化谐振腔参数，在保证高功率输出的同

时大幅度放大了和频晶体处基频光的光斑半径，不仅对非线性晶体的耐用性有很大

提升，还能够缓解非线性晶体在温度变化下受到的热影响，提高腔内谐波在高功率

运转时的光束质量。此外，通过优化谐振腔参数，使得穿过和频晶体的基频光束接

近平行，进而缩小了基频光束在和频晶体位置的扩散角度，一定程度上弥补了大腰

斑所导致的和频转换效率降低的缺陷。

3.腔内倍频、和频过程是利用不同类型的角度相位匹配的LBO晶体完成的，分

别为Ⅰ类和II类。对于走离的问题，通过分析腔内两块非线性晶体之间因光轴方向不

同，从而导致和频过程中走离效果的差异，明确腔内走离补偿方案，在此基础上不

断优化倍频晶体参数最大程度地补偿基频光与倍频光在和频晶体中混频时产生的走

离，以提高和频转换效率，同时提升激光的光束品质。

4.根据理论模型搭建了基于腔内走离补偿实现高功率高光束质量355nm紫外激

光输出的实验装置，并转化成样机。在泵浦注入96.8W的情况下，355nm紫外激光

输出为14.1W，脉冲宽度为12.8ns，脉冲重复频率为35kHz，光束质量因子优于1.18，

10小时的功率稳定性优于0.9%（RMS）。

关键词：355nm紫外激光器；腔内三倍频；走离补偿；高功率；高光束质量

I

ABSTRACT

High-power,high-beam-qualityall-solid-state355nmUVlasersarewidelyusedin

manyfieldsbecauseoftheirshortwavelength,easyfocusingandhighenergy.Andhigh

power,highbeamquality355nmlasercansignificantlyimprovethelaserprocessing

accuracy.ConsideringthattheUVbandandfrequencycrystalswilldirectlyaffectthe

beamshapeof355nmUVlaserduetothepresenceofwalk-offeffect,butthetraditional

walk-offcompensationschemeisnotapplicableathighpoweroutput,wehavecarriedout

anovelresearchprogrammebasedontheintracavitywalk-offcompensationtoachieve

highpower,highbeamquality355nmlaser.Themainresearchcontentincludes:

1.Inthispaper,fromtheresonantcavitydesign,thetheoreticalsimulationcalculates

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