双腔接触式电容MEMS器件：振动波检测的创新探索.docx

下载文档

0
0
约2.94万字
约 23页
2025-03-20 发布于上海
举报
版权申诉
保障服务

双腔接触式电容MEMS器件：振动波检测的创新探索.docx

1、本文档共23页，其中可免费阅读8页，需付费200金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

双腔接触式电容MEMS器件：振动波检测的创新探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystems）技术已成为当今世界极具发展潜力的前沿技术之一。MEMS技术是一种将微传感器、微执行器、微结构、信号处理与控制电路、电源以及通信接口等集成在一片或者多片芯片上的微型器件或系统。它融合了微电子技术、微机械加工技术、材料科学、传感器技术等多学科的知识，实现了电子系统与机械系统的紧密结合，使得器件具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、性能优异等诸多优点。

自20世纪50年代MEMS技术起源以