基于NEMS技术的角度传感器：制作工艺、特性与应用探索.docx

基于NEMS技术的角度传感器：制作工艺、特性与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微纳机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS）和纳机电系统（Nano-Electro-MechanicalSystem，NEMS）技术逐渐成为研究热点。NEMS技术作为MEMS技术的延伸，以其更小的尺寸、更高的精度和更优异的性能，在众多领域展现出巨大的应用潜力。自20世纪90年代末NEMS概念被提出以来，相关研究不断取得突破，为现代科技的发展注入了新的活力。

角度传感器作为一种能够将角度信号转换为电信号的关键