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半导体扩散硅压阻式压力传感器实验--第1页

半导体扩散硅压阻式压力传感器实验

一、实验目的

了解扩散硅压阻式压力传感器的工作原理和工作情况。

二、基本原理

压阻式传感器的工作机理是半导体应变片的压阻效应，在半导体

受力变形时会暂时改变晶体结构的对称性，因而改变了半导体的导电

机理，是的它的电阻率发生变化，这种物理现象称之为半导体的压阻

效应。一般半导体一般采用N型单晶硅为传感器的弹性元件，在它

的上面直接蒸镀扩散出多个半导体电阻应变薄膜（扩散出P型或N

型电阻条）组成电桥。

在压力（压强）作用下弹性元件产生应力，半导体电阻应变薄膜

的电阻率产生很大的变化，引起电阻的变化，经电桥转换成电压输出，

则其输出电压的变化反映了所受到的压力的变化。

三、需用器件与单元

主、副电源、可调直流稳压电源、差动放大器、电压/频率

表、压阻式传感器、压力表及加压配件。

四、实验步骤：

1、了解所需单元、部件、